北京创昱科技有限公司卢继奎获国家专利权
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龙图腾网获悉北京创昱科技有限公司申请的专利温度调节装置及晶片真空加热装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN108287574B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-09发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：201810272970.5，技术领域涉及：G05D23/19；该发明授权温度调节装置及晶片真空加热装置是由卢继奎;张金斌;南建辉设计研发完成，并于2018-03-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本温度调节装置及晶片真空加热装置在说明书摘要公布了：本发明涉及晶片加热技术领域，提供一种温度调节装置及晶片真空加热装置。其中，温度调节装置包括多块角度可调的反射板，安装在晶片以及用于加热所述晶片的加热单元之间的热传递路径上，用于调整所述加热单元向各块所述晶片辐射的热量。本发明的温度调节装置，反射板可以将加热单元发出的热量或者光线反射到不同位置。从而，当加热单元由于装配误差或者加工误差等原因导致真空壳体内晶片温度不均匀的时候，可以在不改变晶片真空加热装置内部布局的情况下，通过调节反射板的角度解决晶片温度不均匀的问题。
本发明授权温度调节装置及晶片真空加热装置在权利要求书中公布了：1.一种温度调节装置，其特征在于，包括多块角度可调的反射板，安装在晶片以及用于加热所述晶片的加热单元之间的热传递路径上，用于调整所述加热单元向各块所述晶片辐射的热量； 所述温度调节装置还包括角度调节器；所述反射板可绕着设定轴线转动，并且沿着所述设定轴线上所述反射板的数量为多块，包括至少一块连接所述角度调节器的第一反射板； 所述反射板还包括第二反射板； 所述第一反射板和第二反射板上分别设置有互相配合的凸起，使得所述第一反射板以所述设定轴线为转轴相对所述第二反射板转动设定角度之后，所述第一反射板上的凸起和第二反射板上的凸起接触，并使得所述第一反射板转动的同时带动所述第二反射板转动； 所述角度调节器为调节手轮，所述调节手轮设置有标度尺，用于显示所述调节手轮的调节角度。
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