美商新思科技有限公司Z·A·莱文森获国家专利权
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龙图腾网获悉美商新思科技有限公司申请的专利用于在紧凑建模中校准随机信号的方法和系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113759668B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-09发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110624157.1，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权用于在紧凑建模中校准随机信号的方法和系统是由Z·A·莱文森;Y·P·坎德尔;U·威林设计研发完成，并于2021-06-04向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于在紧凑建模中校准随机信号的方法和系统在说明书摘要公布了：本公开的实施例涉及在紧凑建模中校准随机信号。通过以下各项提供在紧凑建模时校准随机信号：获得生产抗蚀剂掩模时过程变化的数据；基于数据来校准抗蚀剂掩模的连续紧凑模型；针对基于数据的随机紧凑模型评估连续紧凑模型；选取随机紧凑模型的边缘位置分布的功能描述；根据功能描述将来自评估的图像参数映射到边缘分布参数；基于来自图像参数的缩放测量来确定用于随机紧凑模型的边缘位置范围；校准抗蚀剂掩模的阈值并且更新随机紧凑模型的参数，以减小实验数据与所建模的LER值之间的差异；以及输出随机紧凑模型。
本发明授权用于在紧凑建模中校准随机信号的方法和系统在权利要求书中公布了：1.一种方法，包括： 获得生产抗蚀剂掩模时的过程变化的数据； 基于所述数据来校准所述抗蚀剂掩模的连续紧凑模型； 针对基于所述数据的随机紧凑模型，评估所述连续紧凑模型； 选取所述随机紧凑模型的边缘位置分布的功能描述； 根据所述功能描述将来自所述评估的图像参数映射到边缘分布参数； 基于来自所述图像参数的缩放测量来确定用于所述随机紧凑模型的边缘位置范围； 校准所述抗蚀剂掩模的阈值，并且更新所述随机紧凑模型的参数，以减小所述数据与所建模的线性边缘粗糙度LER值之间的差异；以及输出所述随机紧凑模型。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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