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龙图腾网获悉诺威有限公司申请的专利组合OCD与光反射的方法及系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115003981B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-09发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080093114.9，技术领域涉及：G01B11/02；该发明授权组合OCD与光反射的方法及系统是由约纳坦·奥伦;吉拉德·巴拉克设计研发完成，并于2020-12-24向国家知识产权局提交的专利申请。

本组合OCD与光反射的方法及系统在说明书摘要公布了：一种组合OCD和光反射的系统和方法，用于改善目标样品的光学特性测量中的OCD性能。系统包括：a单通道OCD设置，包括在与所述目标样品垂直倾斜的方向上配置的单探测光束，或者多通道OCD设置，具有在与所述目标样品垂直和倾斜的方向上配置的多探测光束，用于测量所述目标样品的光学特性，b至少一个激光源，用于产生至少一个激光光束，c至少一个调制设备，以将所述至少一个激光光束转换成至少一个交替调制的激光光束；以及d至少一个光谱仪，用于测量从所述目标样品反射的所述至少一个激光光束的光谱分量；其中，所述至少一个交替调制的激光光束交替调制所述目标样品的光谱反射率。

本发明授权组合OCD与光反射的方法及系统在权利要求书中公布了：1.一种组合OCD和光反射的方法，用于测量和计算目标样品的光学特性的光致变化，所述组合OCD和光反射的方法包括： a提供组合OCD和光反射的系统； b将在垂直和或倾斜于所述目标样品上的光斑的方向上的单探测光束多探测光束和交替调制到探测光束目标样品上的所述光斑上的激光光束聚焦，或者将由探测光束和交替调制到所述目标样品上的所述光斑的所述激光光束组成的组合的光束聚焦； c通过所述单探测光束所述多探测光束和交替调制的所述激光光束或通过所述组合的光束击中所述目标样品上的所述光斑，以交替调制所述目标样品的反射率，从而使“泵浦开启”光束和“泵浦关闭”光束交替从所述目标样品反射； d将单光束多光束或所述组合的光束定向至至少一个光谱仪，所述组合的光束包括从所述目标样品反射的探测光束和调制的激光光束； e在到达所述至少一个光谱仪之前，从所述目标样品反射的所述组合的光束中滤波出所述调制的激光光束； f将所述“泵浦开启”光束和所述“泵浦关闭”光束转换为“泵浦开启”信号和“泵浦关闭”信号，并将所述“泵浦开启”信号和所述“泵浦关闭”信号传输至计算机；以及g从对应于光谱R+△R的所述“泵浦关闭”信号中减去对应于光谱R的所述“泵浦开启”信号，以得到PR信号△R。

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