本源量子计算科技(合肥)股份有限公司贾志龙获国家专利权
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龙图腾网获悉本源量子计算科技(合肥)股份有限公司申请的专利一种模具及光刻设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223650893U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-09发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423313858.1，技术领域涉及：G03F7/20；该实用新型一种模具及光刻设备是由贾志龙;请求不公布姓名;请求不公布姓名;请求不公布姓名设计研发完成，并于2024-12-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种模具及光刻设备在说明书摘要公布了：本申请公开了一种模具及光刻设备，属于超导量子芯片制造领域。该模具包括定义有晶圆固定区域的第一板片，与第一板片对置的第二板片。其中第一板片在所述固定区域具有沿厚度方向延伸的通气孔，第二板片设置有供所述晶圆穿过与第一板片面对面贴合的放置孔；并且在厚度方向，放置孔与固定区域相对。该模具能够用于实现利用现有的光刻设备对小尺寸的晶圆进行接近式光刻。
本实用新型一种模具及光刻设备在权利要求书中公布了：1.一种模具，用于实现晶圆的接近式光刻，其特征在于，所述模具包括： 定义有晶圆固定区域的第一板，在所述固定区域具有沿厚度方向延伸的通气孔； 与第一板片对置的第二板片，设置有供所述晶圆穿过与第一板片面对面贴合的放置孔； 在所述厚度方向，所述放置孔与所述固定区域相对。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人本源量子计算科技(合肥)股份有限公司，其通讯地址为：230088 安徽省合肥市高新区城西桥社区服务中心望江西路900号中安创谷科技园一期D8幢；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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