苏州赛森电子科技有限公司徐印钢获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州赛森电子科技有限公司申请的专利一种晶圆花篮数片装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223651009U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-09发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423323684.7，技术领域涉及：G06M1/10；该实用新型一种晶圆花篮数片装置是由徐印钢;田为进设计研发完成，并于2024-12-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆花篮数片装置在说明书摘要公布了：本申请公开了一种晶圆花篮数片装置，涉及半导体制造技术领域，包括：主机架；背板，背板设置在主机架上；晶圆花篮，晶圆花篮下端设置有控制系统，控制系统用于控制晶圆花篮升降，控制系统包括：丝杆机构；在晶圆花篮的工作位置处设置有光电传感器；光电反射板，通过设置在晶圆花篮工作位置处的光电传感器，与相对安装的光电反射板配合，检测晶圆花篮内的晶圆数量，光电传感器通过检测光束的反射信号，避免了人工检测或设备精度不足导致的误差问题，并通过控制系统使晶圆花篮的运动，为光电传感器提供检测条件，确保检测的精准性，解决无法精确检测晶圆花篮中晶圆数量导致影响运行效率的问题，可以精确检测晶圆花篮中晶圆数量提高了运行效率。
本实用新型一种晶圆花篮数片装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆花篮数片装置，其特征在于，包括： 主机架； 背板，所述背板设置在所述主机架上； 晶圆花篮，所述晶圆花篮与所述背板连接，所述晶圆花篮下端设置有控制系统，所述控制系统用于控制所述晶圆花篮升降，所述控制系统包括： 丝杆机构，所述丝杆机构包括丝杆与其连接的伺服电机，所述丝杆垂直安装在所述晶圆花篮下方，用于驱动所述晶圆花篮； 在所述晶圆花篮的工作位置处设置有光电传感器，所述光电传感器用于检测所述晶圆花篮中晶圆的数量； 光电反射板，所述光电反射板安装在所述光电传感器相对的位置，所述光电反射板固定于所述主机架的框架上，所述光电反射板用于将光束反射至所述光电传感器。
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