湘能华磊光电股份有限公司周智斌获国家专利权
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龙图腾网获悉湘能华磊光电股份有限公司申请的专利一种LED芯片的制备方法及所得LED芯片获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114551683B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-12发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202210186828.5,技术领域涉及:H10H20/01;该发明授权一种LED芯片的制备方法及所得LED芯片是由周智斌;季辉;汪延明设计研发完成,并于2022-02-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种LED芯片的制备方法及所得LED芯片在说明书摘要公布了:本发明提供了一种LED芯片的制备方法,包括以下步骤:在衬底上依次生长ALN层、第一型半导体层、多量子阱层和第二型半导体层;依次蚀刻贯穿第二型半导体层、多量子阱层以及部分第一型半导体层形成台阶结构;在台阶上沉积保护层;腐蚀保护层后在裸露的第一型半导体层上生长N型第一接触层;然后形成N型第二接触层;在第二型半导体层上形成与保护层并列设置的接触反射层;在N型第二接触层和接触反射层上分别形成第一电极加厚层,在第一电极加厚层上继续形成第二电极加厚层;沉积绝缘层;腐蚀绝缘层至第二电极加厚层分别形成N凹槽和P凹槽;在N凹槽中设置N电极,在P凹槽中设置P电极,得到LED芯片。
本发明授权一种LED芯片的制备方法及所得LED芯片在权利要求书中公布了:1.一种LED芯片的制备方法,其特征在于,包括以下步骤: S1:在衬底1上依次生长ALN层2、第一型半导体层3、多量子阱层4和第二型半导体层5; S2:依次蚀刻贯穿第二型半导体层5、多量子阱层4以及部分第一型半导体层3形成台阶结构;在台阶结构上沉积保护层6,保护层6覆盖裸露的第一型半导体层3表面、多量子阱层4的侧面、第二型半导体层5的侧面以及局部第二型半导体层5的上表面;腐蚀位于第一型半导体层3上的保护层6后在裸露的第一型半导体层3上生长N型第一接触层7; S3:在N型第一接触层7以及位于其两侧的保护层6上形成N型第二接触层8;在第二型半导体层5上形成与保护层6并列设置的接触反射层9;在N型第二接触层8和接触反射层9上分别形成第一电极加厚层10,在第一电极加厚层10上继续形成第二电极加厚层11;得到芯片初品;所述接触反射层9上方的第一电极加厚层10全面包覆接触反射层9;所述N型第二接触层8的上表面为中间低且四周高的凹形结构;N凹槽对应N型第二接触层8的中间部位设置; S4:在芯片初品上沉积绝缘层12;腐蚀绝缘层12至第二电极加厚层11分别形成N凹槽和P凹槽;所述N凹槽位于N型第二接触层8正上方;所述P凹槽位于接触反射层9正上方; S5:在N凹槽中设置N电极13,在P凹槽中设置P电极14,得到LED芯片。
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