北京北方华创微电子装备有限公司郑旺军获国家专利权
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龙图腾网获悉北京北方华创微电子装备有限公司申请的专利目标气体含量控制方法和半导体工艺设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115708191B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110955295.8，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权目标气体含量控制方法和半导体工艺设备是由郑旺军;王凯;汪小雨设计研发完成，并于2021-08-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本目标气体含量控制方法和半导体工艺设备在说明书摘要公布了：本申请公开一种目标气体含量控制方法和半导体工艺设备，其中目标气体含量控制方法用于控制半导体工艺设备装卸载腔室中目标气体的含量，包括：获取所述装卸载腔室内所述目标气体的目标含量和当前含量之间的含量差值；将所述装卸载腔室的压力值和所述含量差值分别映射至对应的模糊论域，根据各个映射结果确定模糊控制参数；将所述模糊控制参数转换至物理论域，得到初始控制参数；根据所述初始控制参数控制吹扫入所述装卸载腔室的吹扫气体流量，以控制所述装卸载腔室内所述目标气体的含量。本申请能够减少目标气体含量控制时的吹扫气体用量。
本发明授权目标气体含量控制方法和半导体工艺设备在权利要求书中公布了：1.一种目标气体含量控制方法，用于控制半导体工艺设备装卸载腔室中目标气体的含量，其特征在于，包括： 获取所述装卸载腔室内所述目标气体的目标含量和当前含量之间的含量差值； 将所述装卸载腔室的压力值和所述含量差值分别映射至对应的模糊论域，根据各个映射结果确定模糊控制参数，所述压力值和所述含量差值均处于对应的物理论域，各个所述物理论域具有对应的模糊论域，所述物理论域与对应的所述模糊论域之间具有量化因子，所述物理论域的各个物理量的分别通过对应的所述量化因子转换至对应的所述模糊论域； 将所述模糊控制参数转换至物理论域，得到初始控制参数； 根据所述初始控制参数控制吹扫入所述装卸载腔室的吹扫气体流量，以控制所述装卸载腔室内所述目标气体的含量，并减少所使用的吹扫气体量。
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