广州巴达精密刀具有限公司傅铭桓获国家专利权
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龙图腾网获悉广州巴达精密刀具有限公司申请的专利一种用于提高等离子体涂层中靶材的使用效率的设备获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120591736B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-12发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510770690.7,技术领域涉及:C23C14/35;该发明授权一种用于提高等离子体涂层中靶材的使用效率的设备是由傅铭桓;邓伟成;申明秀设计研发完成,并于2025-06-10向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于提高等离子体涂层中靶材的使用效率的设备在说明书摘要公布了:本发明属于材料镀膜技术领域,公开了一种用于提高等离子体涂层中靶材的使用效率的设备,包括:涂层炉,作为设备整体的支撑结构:阴极体,与所述涂层炉相连;冷却结构,连接于所述涂层炉;放置箱,固定于所述涂层炉;铜板,连接于所述放置箱;靶材,通过所述铜板连接于所述放置箱;线圈,连接于所述阴极体;多通道时序电源切换控制器,连接于线圈,通过多通道时序电源切换控制器对多个线圈进行间歇式断电控制,可使离子化位置灵活改变,打破了传统设备离子化位置固定的局限,并且增加了与靶材之间的蒸发表面积,从而增加靶材的使用面积,使更多靶材表面参与溅射,减少未被利用的“边缘盲区”或“底部盲区”。
本发明授权一种用于提高等离子体涂层中靶材的使用效率的设备在权利要求书中公布了:1.一种用于提高等离子体涂层中靶材的使用效率的设备,其特征在于,包括:涂层炉1,作为设备整体的支撑结构: 阴极体2,与所述涂层炉1相连; 冷却结构3,连接于所述涂层炉1; 放置箱4,固定于所述涂层炉1; 铜板5,连接于所述放置箱4; 靶材6,通过所述铜板5连接于所述放置箱4; 线圈7,连接于所述阴极体2; 多通道时序电源切换控制器9,连接于线圈7; AC电源10,连接于所述多通道时序电源切换控制器9,所述AC电源10通过所述多通道时序电源切换控制器9使多个所述线圈7间歇式通电断电; 屏蔽散热结构包括:安装板111、外屏蔽罩112、内屏蔽罩113、扰流结构和驱动结构; 安装板111连接于所述线圈7,外屏蔽罩112连接于所述安装板111,内屏蔽罩113连接于所述外屏蔽罩112,扰流结构连接于所述内屏蔽罩113,驱动结构连接于所述安装板111,所述驱动结构驱动所述内屏蔽罩113转动且通过所述扰流结构使内屏蔽罩113与线圈7之间的气体流动。
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