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龙图腾网获悉西安稀有金属材料研究院有限公司申请的专利一种高均质高稳定性铜靶材的制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120591740B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510859319.8，技术领域涉及：C23C14/35；该发明授权一种高均质高稳定性铜靶材的制备方法是由王旭彪;吴金平;王作华;刘未;谢剑波;王坤设计研发完成，并于2025-06-25向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种高均质高稳定性铜靶材的制备方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种高均质高稳定性铜靶材的制备方法，该方法为：一、将高纯铜铸锭切除冒口、车削得到预处理高纯铜铸锭；二、将预处理高纯铜铸锭入炉加热保温后进行锻造得到锻造铜坯料；三、将锻造铜坯料进行室温周向轧制处理得到轧制铜坯料；四、将轧制铜坯料进行双阶退火热处理得到铜靶材坯料；五、机加工及清洗包装得到高均质高稳定性铜靶材。本发明将高纯铜铸锭依次进行预处理、锻造、室温周向轧制、双阶退火、机加工及清洗包装，实现了组织均匀、晶体取向可控及热稳定性优异的高品质铜靶材制备，提高了溅射镀膜的质量，且该方法操作简单、可控性强且生产效率提高，同时节约了原料和生产成本，适合大范围推广应用。

本发明授权一种高均质高稳定性铜靶材的制备方法在权利要求书中公布了：1.一种高均质高稳定性铜靶材的制备方法，其特征在于，该方法包括预处理、锻造、室温周向轧制、双阶退火热处理、机加工及清洗包装，具体步骤如下： 步骤一、预处理：将质量纯度为99.9999%以上的高纯铜铸锭切除冒口，再经车削去除表面氧化层后清洗干净，且车削深度为2mm以上，得到预处理高纯铜铸锭； 步骤二、锻造：将步骤一中得到的预处理高纯铜铸锭入炉加热保温后进行锻造，先拔长至原始长度的200%~320%，然后镦粗至拔长后长度的30%~50%，反复镦拔处理至少三次，最后成型，得到锻造铜坯料；所述加热保温的温度为580℃~850℃，保温时间为1h~2h； 步骤三、室温周向轧制：将步骤二中得到的锻造铜坯料进行室温周向轧制处理，且轧制总变形量为30%~60%，得到轧制铜坯料；所述室温周向轧制处理的每道次下压量为1mm~2mm，且相邻道次轧制方向的夹角为60°~120°； 步骤四、双阶退火热处理：将步骤三中得到的轧制铜坯料进行到温入炉保温的双阶退火热处理，结束后空冷至室温，得到铜靶材坯料；所述双阶退火热处理的工艺为：先在高温500℃~600℃到温入炉保温10min~40min，然后在低温350℃~450℃到温入炉保温1h~3h，空冷至室温； 步骤五、机加工及清洗包装：将步骤四中得到的铜靶材坯料进行机加工、校直、真空退火及清洗处理、包装，得到高均质高稳定性铜靶材。

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