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龙图腾网获悉上海车仪田科技有限公司申请的专利数据检测方法及其系统、检测装置、计算机设备及存储介质获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120951178B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511468218.4，技术领域涉及：G06F18/2431；该发明授权数据检测方法及其系统、检测装置、计算机设备及存储介质是由张黎明;刘新阳;刘杰;徐秋生;邢陈陈设计研发完成，并于2025-10-15向国家知识产权局提交的专利申请。

本数据检测方法及其系统、检测装置、计算机设备及存储介质在说明书摘要公布了：本申请提供了一种数据检测方法及其系统、检测装置、计算机设备及存储介质，本申请获取行星式反应腔内各晶圆表面的检测信号，基于触发信号切割检测信号得到第一信号序列和第二信号序列；采用分类模型处理第一信号序列，得到各晶圆上的材料类型；基于材料类型查询对应的光学模型；采用解耦算法对光学模型、第一信号序列和第二信号序列进行迭代优化，得到温度检测值和反射率检测值。本申请基于触发信号将原始的检测信号分割为单独的信号序列，进而根据单独的信号序列确定材料类型，根据材料类型选择对应的光学模型，最后根据光学模型解耦得到精确度较高的温度检测值和反射率检测值，实现了单个晶圆信号的精确解析，大幅提高了工艺重复性和稳定性。

本发明授权数据检测方法及其系统、检测装置、计算机设备及存储介质在权利要求书中公布了：1.一种数据检测方法，其特征在于，所述方法包括: 获取晶圆表面的检测信号；其中，各所述晶圆设置于行星式反应腔内，所述检测信号包括光谱反射信号和热辐射信号； 基于触发信号分别切割所述光谱反射信号和所述热辐射信号，得到第一信号序列和第二信号序列；其中，一个所述触发信号表征行星式反应腔内的石墨盘旋转一圈； 采用预训练的分类模型处理所述第一信号序列，得到各晶圆上的材料类型； 基于所述材料类型，从预设数据库中查询得到该材料类型对应的光学模型；所述光学模型用于表征光学常数关于波长、温度的光学常数函数，所述光学常数包括折射率和消光系数； 采用解耦算法对所述光学模型、所述第一信号序列和所述第二信号序列进行迭代优化，得到温度检测值和反射率检测值，包括： 采用预先构建的物理正向模型，基于材料的光学常数函数，在给定的温度和表面状态参数下生成预测数据；其中，所述预测数据包括理论反射率和理论辐射强度；所述表面状态参数包括辐射率修正系数、表面粗糙度参数和氧化层影响参数中的至少一种； 逐步计算所述预测数据和实测数据的残差，所述实测数据包括实测反射率和实测辐射强度，且所述实测反射率是基于子信号序列得到的，所述实测辐射强度是基于所述第二信号序列得到的；所述子信号序列是通过切割所述第一信号序列得到的； 采用解耦的交替优化算法，交替迭代优化温度和表面状态参数，并使用非线性最小二乘算法最小化残差函数，直至收敛； 将模型收敛时的温度作为温度检测值，并基于收敛时的表面状态参数对实测反射率进行修正，得到反射率检测值。

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