上海高笙集成电路设备有限公司崔汉宽获国家专利权
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龙图腾网获悉上海高笙集成电路设备有限公司申请的专利一种等离子体尾气处理装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223654739U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-12发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423269146.4，技术领域涉及：B01D53/32；该实用新型一种等离子体尾气处理装置是由崔汉宽;张玉利设计研发完成，并于2024-12-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种等离子体尾气处理装置在说明书摘要公布了：本实用新型涉及半导体尾气处理技术领域，尤其是一种等离子体尾气处理装置，其包括反应总成、冷却管、水洗总成、水气分离总成及出气管，水洗总成包括水箱及水洗管，冷却管及水洗管均固定安装在水箱上方；反应总成包括反应腔、进气管及等离子矩，反应腔与冷却管之间连接用以输入助燃空气的环形空气板；水箱及水洗管内设置用以对气体进行水洗的喷淋管；水气分离总成包括水气分离管及水气分离机构。本实用新型通过等离子矩和水洗总成对制程气体进行充分处理和喷淋水解，使溶于水的物质作为废水排出，处理达标的气体排放至常务中央系统，完成废气的充分处理；通过设置补风机构进行二次补风，同时能够在等离子矩失效时，加大气流量对废气进行稀释。
本实用新型一种等离子体尾气处理装置在权利要求书中公布了：1.一种等离子体尾气处理装置，其特征在于，包括依次连通的反应总成、冷却管、水洗总成、水气分离总成及出气管8，所述水洗总成包括水箱51及水洗管61，所述冷却管及水洗管61均固定安装在水箱51上方；所述反应总成包括反应腔21、进气管22及等离子矩23，所述进气管22向反应腔21输入待处理的氢气，等离子矩23在反应腔21内产生等离子体并使氢气燃烧，反应腔21与冷却管之间连接用以输入助燃空气的环形空气板24；水箱51及水洗管61内设置用以对气体进行水洗的喷淋管；所述水气分离总成包括水气分离管72及水气分离机构，所述水气分离管72设置在水洗管61与出气管8之间，水气分离机构设置在水气分离管72内。
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