上海高笙集成电路设备有限公司崔汉宽获国家专利权
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龙图腾网获悉上海高笙集成电路设备有限公司申请的专利一种干式等离子体尾气处理装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223654740U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-12发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423273125.X，技术领域涉及：B01D53/32；该实用新型一种干式等离子体尾气处理装置是由崔汉宽;张玉利设计研发完成，并于2024-12-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种干式等离子体尾气处理装置在说明书摘要公布了：本实用新型涉及尾气处理技术领域，尤其涉及一种干式等离子体尾气处理装置，包括外壳、进气管总成、主腔体、反应腔、冷却腔、水槽、冷却箱、后端腔体、集气桶、第一吸附桶和第二吸附桶，所述进气管总成连接主腔体，所述主腔体上设置等离子炬装置，所述主腔体上依次法兰连接反应腔、冷却腔、水槽，所述水槽上依次连接冷却箱、后端腔体，所述后端腔体端部设置排出口，所述后端腔体连接集气桶，所述后端腔体和集气桶之间设置阀门，所述集气桶分别连接第一吸附桶和第二吸附桶。本实用新型解决了现有的等离子体废气处理装置冷却效果不佳的问题。
本实用新型一种干式等离子体尾气处理装置在权利要求书中公布了：1.一种干式等离子体尾气处理装置，其特征在于：包括外壳1、进气管总成2、主腔体30、反应腔3、冷却腔4、水槽5、冷却箱6、后端腔体7、集气桶8、第一吸附桶91和第二吸附桶92，所述进气管总成2连接主腔体30，所述主腔体30上设置等离子炬装置301，所述主腔体30上依次法兰连接反应腔3、冷却腔4、水槽5，所述水槽5上依次连接冷却箱6、后端腔体7，所述后端腔体7端部设置排出口71，所述后端腔体7连接集气桶8，所述后端腔体7和集气桶8之间设置阀门80，所述集气桶8分别连接第一吸附桶91和第二吸附桶92。
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