合肥亦森电子科技有限公司郑世明获国家专利权
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龙图腾网获悉合肥亦森电子科技有限公司申请的专利一种半导体生产加工用气体处理装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223654745U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-12发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422826709.9，技术领域涉及：B01D53/76；该实用新型一种半导体生产加工用气体处理装置是由郑世明;萧丽芳;关永强;陈恊宗;叶家淦;陈东麟;吴菊平设计研发完成，并于2024-11-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种半导体生产加工用气体处理装置在说明书摘要公布了：本实用新型提供了一种半导体生产加工用气体处理装置，涉及半导体生产加工领域，包括：恒温存储柜、气体过滤器和气动泵，所述恒温存储柜上端面固定有气体过滤器，所述气体过滤器通过输气管连接有气动泵，所述恒温存储柜左侧端固定有余气反应箱，所述余气反应箱上端通过排气管与气体过滤器相连接，所述余气反应箱下端通过进气管连接有反应气罐，所述余气反应箱内侧设置有反应腔，所述反应腔内密封插接有分子筛网板，所述反应腔右端通过导气槽分别与进气管和排气管相连通。本实用新型解决了现有技术中解锁拆卸清洁气体处理装置时若内部气体未排尽会对人体造成危害的问题。
本实用新型一种半导体生产加工用气体处理装置在权利要求书中公布了：1.一种半导体生产加工用气体处理装置，包括：恒温存储柜1、气体过滤器3和气动泵4，所述恒温存储柜1上端面固定有气体过滤器3，所述气体过滤器3通过输气管41连接有气动泵4，其特征在于： 所述恒温存储柜1左侧端固定有余气反应箱2，所述余气反应箱2上端通过排气管31与气体过滤器3相连接，所述余气反应箱2下端通过进气管23连接有反应气罐5，所述余气反应箱2内侧设置有反应腔22，所述反应腔22内密封插接有分子筛网板21，所述反应腔22右端通过导气槽25分别与进气管23和排气管31相连通。
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