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龙图腾网获悉苏州易缆微光电技术有限公司申请的专利一种硅片边缘清洁装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223655597U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-12发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422936557.8，技术领域涉及：B08B1/20；该实用新型一种硅片边缘清洁装置是由张文衡;何舒宇;王世群;蔡鲜丽;陈伟;陈文铨设计研发完成，并于2024-11-29向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种硅片边缘清洁装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了硅片加工技术领域的一种硅片边缘清洁装置，包括清洁装置主体，通过在清洁装置主体顶面设置清洁环，再将清洁块固定于清洁环内侧，同时吸气口将硅片主体固定在承托槽内部，启动伺服电机，使得伺服电机带动四个皮带轮转动，从而使得皮带轮通过转盘带动硅片主体转动，从而使得硅片主体外边缘通过清洁块进行清理，解决了上述背景技术中提出的在半导体生产中，硅片经过切割后，边缘往往会残留微小的碎片、切割液残留物及其他污染物，这些污染物若未能有效清除，将严重影响后续工艺如光刻、蚀刻等的质量，甚至导致器件失效，现有清洁方法如手工擦拭、高压水冲洗等，难以达到理想的清洁效果，且可能损伤硅片表面的问题。

本实用新型一种硅片边缘清洁装置在权利要求书中公布了：1.一种硅片边缘清洁装置，包括清洁装置主体1，所述清洁装置主体1内部设置有承托板2，所述清洁装置主体1与承托板2之间设置有支撑柱3，所述清洁装置主体1和承托板2通过支撑柱3固定连接，其特征在于： 所述承托板2顶面开设有若干个承托槽4，所述承托槽4内部转动连接有转盘5，所述转盘5上放置有硅片主体6； 所述承托板2底端固定有伺服电机7，所述伺服电机7输出端固定有皮带轮8，所述承托板2底端对称固定有另外四个皮带轮8，五个所述皮带轮8通过传动皮带9传动连接，远离伺服电机7的四个所述皮带轮8顶面皆与转盘5固定连接，所述转盘5顶面开设有吸气口12，远离所述伺服电机7的皮带轮8内部转动连接有密封轴承10，所述密封轴承10底端连通有吸气管11，所述密封轴承10顶端与吸气口12连通，所述吸气管11远离密封轴承10的一端连通有负压装置； 所述清洁装置主体1顶面转动连接有清洁环13，所述清洁环13靠近清洁装置主体1内部的一侧固定有清洁块14。

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