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北方集成电路技术创新中心(北京)有限公司曹澄楠获国家专利权

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龙图腾网获悉北方集成电路技术创新中心(北京)有限公司申请的专利一种清洗装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223655608U

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-12发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422976325.5,技术领域涉及:B08B3/02;该实用新型一种清洗装置是由曹澄楠设计研发完成,并于2024-12-03向国家知识产权局提交的专利申请。

一种清洗装置在说明书摘要公布了:本申请提供一种清洗装置,包括:清洗腔;至少一个承载台,位于所述清洗腔内,所述承载台用于承载并固定待清洗件;进液组件,所述进液组件包括至少一个第一出液喷头和至少一个第二出液喷头,所述第一出液喷头设置在所述承载台上方,用于朝向所述待清洗件的上表面喷射所述清洗液体,所述第二出液喷头设置在所述承载台侧边,用于朝向所述待清洗件的侧面喷射所述清洗液体;以及进气组件,设置在所述承载台的至少一侧,用于使气体吹向所述待清洗件。本申请提供的清洗装置能够清洗光罩盒,减少微小颗粒在光罩盒内外的附着,避免微小颗粒对光罩造成污染。

本实用新型一种清洗装置在权利要求书中公布了:1.一种清洗装置,其特征在于,包括: 清洗腔; 至少一个承载台,位于所述清洗腔内,所述承载台用于承载并固定待清洗件; 进液组件,所述进液组件包括至少一个第一出液喷头和至少一个第二出液喷头,所述第一出液喷头设置在所述承载台上方,用于朝向所述待清洗件的上表面喷射清洗液体,所述第二出液喷头设置在所述承载台侧边,用于朝向所述待清洗件的侧面喷射所述清洗液体;以及 进气组件,设置在所述承载台的至少一侧,用于使气体吹向所述待清洗件。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人北方集成电路技术创新中心(北京)有限公司,其通讯地址为:100176 北京市大兴区经济技术开发区文昌大道18号9幢一层;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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