山东有研半导体材料有限公司;有研半导体硅材料股份公司张泽龙获国家专利权
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龙图腾网获悉山东有研半导体材料有限公司;有研半导体硅材料股份公司申请的专利一种用于MC第四旋转轴加工石英环的夹具装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223656768U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-12发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202423010168.9,技术领域涉及:B24B41/06;该实用新型一种用于MC第四旋转轴加工石英环的夹具装置是由张泽龙;朱秦发;胡金海;杨卫国设计研发完成,并于2024-12-06向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于MC第四旋转轴加工石英环的夹具装置在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种用于MC第四旋转轴加工石英环的夹具装置。该夹具装置包括真空吸盘、多个固定组件、旋转导气杆;其中,真空吸盘上表面布置有真空气道,真空吸盘底部安装旋转导气杆,旋转导气杆与真空气道连通,并连接外部真空发生系统;旋转导气杆连接第四旋转轴,从而驱动真空吸盘旋转;多个固定组件设置于真空吸盘外周侧,各固定组件由定位块和夹头组合而成,定位块固定安装在真空吸盘上,夹头与定位块通过一对螺丝连接,该一对螺丝配置在夹头上方,通过旋转螺丝控制夹头上下移动伸缩和压紧于石英环外周。本实用新型的夹具装置结构简单,能够有效保障石英环在MC第四旋转轴上的稳定夹持,控制加工石英环的真圆度,提高加工效率。
本实用新型一种用于MC第四旋转轴加工石英环的夹具装置在权利要求书中公布了:1.一种用于MC第四旋转轴加工石英环的夹具装置,其特征在于,该夹具装置包括真空吸盘、多个固定组件、旋转导气杆;其中, 真空吸盘上表面布置有真空气道,真空吸盘底部安装旋转导气杆,旋转导气杆与真空吸盘的真空气道连通,并通过连接外部真空发生系统产生负压,将石英环吸附于真空吸盘上表面;旋转导气杆连接第四旋转轴,从而驱动真空吸盘旋转; 多个固定组件设置于真空吸盘外周侧,各固定组件由定位块和夹头组合而成,定位块固定安装在真空吸盘上,夹头与定位块通过一对螺丝连接,该一对螺丝配置在夹头上方,通过旋转螺丝控制夹头上下移动伸缩和压紧于石英环外周。
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