三星显示有限公司薛在完获国家专利权
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龙图腾网获悉三星显示有限公司申请的专利用于显示装置的沉积系统获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223660176U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-12发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422587801.4,技术领域涉及:C23C14/24;该实用新型用于显示装置的沉积系统是由薛在完;尹引泽;蔡钟旭;崔钟贤设计研发完成,并于2024-10-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于显示装置的沉积系统在说明书摘要公布了:本公开涉及用于显示装置的沉积系统。用于显示装置的沉积系统包括:工艺室,包括沉积区域部和沉积备用部;沉积源装置,可移动地安装在沉积备用部和基底台之间,其中,安装在基底台上的基底在沉积区域部上方并以线性形式布置;沉积防止单元,设置在沉积源装置和基底之间;以及冷却单元,直接耦接至基底的外围。用于显示装置的沉积系统配置为在工艺室中在线性方向上布置的至少两个基底上连续地执行沉积工艺。
本实用新型用于显示装置的沉积系统在权利要求书中公布了:1.一种用于显示装置的沉积系统,其特征在于,所述沉积系统包括: 工艺室,包括沉积区域部和沉积备用部,其中,所述沉积区域部设置在所述沉积备用部之间; 沉积源装置,用于薄膜沉积,其中,所述沉积源装置可移动地安装在所述沉积备用部和基底台之间,其中,安装在所述基底台上的基底在所述沉积区域部上方并且以线性形式布置; 沉积防止单元,设置在所述沉积源装置和安装在所述基底台上的所述基底之间;以及 冷却单元,所述冷却单元与所述沉积防止单元联锁,并且所述冷却单元直接耦接至所述基底的外围,其中,所述冷却单元向上突出; 其中,用于所述显示装置的所述沉积系统配置为在所述工艺室中在线性方向上布置的至少两个基底上连续地执行沉积工艺,其中,所述至少两个基底包括安装在所述基底台上的所述基底。
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