江苏瀚思瑞半导体科技有限公司吴松涛获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏瀚思瑞半导体科技有限公司申请的专利一种氮化铝基板表面蒸镀金属化治具获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223660178U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-12发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422858845.6,技术领域涉及:C23C14/24;该实用新型一种氮化铝基板表面蒸镀金属化治具是由吴松涛;王闯;黄元昊;吴承侃设计研发完成,并于2024-11-22向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种氮化铝基板表面蒸镀金属化治具在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种氮化铝基板表面蒸镀金属化治具,包括底层开合式蒸镀治具以及依次上下叠放于底层开合式蒸镀治具上的叠层开合式蒸镀治具,底层开合式蒸镀治具放置于网带上,叠层开合式蒸镀治具至多叠放设置有三组,底层开合式蒸镀治具与叠层开合式蒸镀治具均包括上下叠放设置的上层治具与下层治具,上层治具与下层治具一端通过合页铰接,上层治具上方开设有氧化铜片放置槽,氧化铜片放置槽内卡设有氧化铜片,下层治具上方开设有待蒸镀瓷片放置槽,待蒸镀瓷片放置槽内卡设有待蒸镀瓷片,上层治具与下层治具分别于氧化铜片放置槽与待蒸镀瓷片放置槽中部贯穿开设有矩形开槽。本实用新型的优点在于能够实现基板的批量蒸镀,效率更高。
本实用新型一种氮化铝基板表面蒸镀金属化治具在权利要求书中公布了:1.一种氮化铝基板表面蒸镀金属化治具,其特征在于,包括底层开合式蒸镀治具以及依次上下叠放于底层开合式蒸镀治具上的叠层开合式蒸镀治具,所述底层开合式蒸镀治具放置于网带上,所述叠层开合式蒸镀治具至多叠放设置有三组,所述底层开合式蒸镀治具与叠层开合式蒸镀治具均包括上下叠放设置的上层治具与下层治具,所述上层治具与下层治具一端通过合页铰接,所述上层治具上方开设有氧化铜片放置槽,所述氧化铜片放置槽内卡设有氧化铜片,所述下层治具上方开设有待蒸镀瓷片放置槽,所述待蒸镀瓷片放置槽内卡设有待蒸镀瓷片,所述上层治具与下层治具分别于氧化铜片放置槽与待蒸镀瓷片放置槽中部贯穿开设有矩形开槽。
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