深圳市昇维旭技术有限公司陈祖鸿获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳市昇维旭技术有限公司申请的专利遮蔽组件及半导体加工设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223660182U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-12发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520038940.3，技术领域涉及：C23C14/35；该实用新型遮蔽组件及半导体加工设备是由陈祖鸿设计研发完成，并于2025-01-07向国家知识产权局提交的专利申请。
本遮蔽组件及半导体加工设备在说明书摘要公布了：本申请公开了一种遮蔽组件及半导体加工设备，其包括：遮蔽挡板；挡板手臂，用于使遮蔽挡板在存放位置和遮蔽位置之间移动；挡板手臂包括承载部，承载部具有水平的承载面，在承载面上设置有固定销，固定销呈棱台状或棱柱状；遮蔽挡板位于承载面上，遮蔽挡板朝向挡板手臂的一侧设置有与固定销形状匹配的固定槽，固定销插设于固定槽中；其中，在遮蔽位置时，遮蔽挡板在基座的支撑面上的投影完全覆盖待加工件在基座的支撑面上的投影；在存放位置时，在垂直于基座的支撑面的方向上，遮蔽挡板与基座的支撑面不重叠。根据本申请的遮蔽组件及半导体加工设备，能够有效限制遮蔽挡板与挡板手臂摩擦产生颗粒物。
本实用新型遮蔽组件及半导体加工设备在权利要求书中公布了：1.一种遮蔽组件，其特征在于，包括： 遮蔽挡板；以及 挡板手臂，用于使所述遮蔽挡板在存放位置和遮蔽位置之间移动； 所述挡板手臂包括承载部，所述承载部具有水平的承载面，在所述承载面上设置有固定销，所述固定销呈棱台状或棱柱状；所述遮蔽挡板位于所述承载面上，所述遮蔽挡板朝向所述挡板手臂的一侧设置有与所述固定销形状匹配的固定槽，所述固定销插设于所述固定槽中； 其中，在所述遮蔽位置时，所述遮蔽挡板在基座的支撑面上的投影完全覆盖待加工件在所述基座的支撑面上的投影；在所述存放位置时，在垂直于所述基座的支撑面的方向上，所述遮蔽挡板与所述基座的支撑面不重叠。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人深圳市昇维旭技术有限公司，其通讯地址为：518000 广东省深圳市龙岗区平湖街道辅城坳社区新源三巷1号B栋104；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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