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江阴纳力新材料科技有限公司耿秋勇获国家专利权

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龙图腾网获悉江阴纳力新材料科技有限公司申请的专利一种关于离子源快速冷却以及静电吸附的功能装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223660183U

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-12发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520227003.2,技术领域涉及:C23C14/35;该实用新型一种关于离子源快速冷却以及静电吸附的功能装置是由耿秋勇;张国平;李学法设计研发完成,并于2025-02-13向国家知识产权局提交的专利申请。

一种关于离子源快速冷却以及静电吸附的功能装置在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种关于离子源快速冷却以及静电吸附的功能装置,涉及金属镀膜技术领域,所述功能装置包括静电板,所述静电板一侧安装有阴极装置,所述阴极装置内侧安装有阳极装置,所述阴极装置一侧安装绝缘装置,所述绝缘装置一侧安装有磁路模块装置,所述磁路模块装置内侧安装有冷却装置,所述磁路模块装置一侧安装有气路装置,所述气路装置一侧安装有压块,所述压块一侧安装有水路装置和导电装置,所述功能装置通过冷却装置将离子源上的热量进行快速吸收,静电板通过静电吸附作用,提高膜层的表面质量,减少了因异物导致离子源的异常,间接提高了膜层附着力,同时减少整体拆卸保养频率。

本实用新型一种关于离子源快速冷却以及静电吸附的功能装置在权利要求书中公布了:1.一种关于离子源快速冷却以及静电吸附的功能装置,其特征在于:所述功能装置包括静电板1,所述静电板1一侧安装有阴极装置2,所述阴极装置2内侧安装有阳极装置3,所述阴极装置2一侧安装绝缘装置10,所述绝缘装置10一侧安装有磁路模块装置4,所述磁路模块装置4内侧安装有冷却装置5,所述磁路模块装置4一侧安装有气路装置6,所述气路装置6一侧安装有压块7,所述压块7一侧安装有水路装置9和导电装置8。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人江阴纳力新材料科技有限公司,其通讯地址为:214400 江苏省无锡市江阴市璜土镇华滨路26号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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