苏州中科重仪半导体材料有限公司李锐获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州中科重仪半导体材料有限公司申请的专利气相沉淀设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223660199U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-12发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520291787.5，技术领域涉及：C23C16/18；该实用新型气相沉淀设备是由李锐;罗敏杰;陈浩设计研发完成，并于2025-02-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本气相沉淀设备在说明书摘要公布了：本实用新型提出了一种气相沉淀设备，涉及气相沉积技术领域，气相沉淀设备包括：第一管路；流量控制器，设于第一管路的第一端；反应室，反应室的第一端与第一管路的第二端连通；第二管路，第二管路的第一端与第一管路的第一端相对，第二管路的第二端与第一管路的第二端相对；差压计，差压计的第一端与第一管路连通，差压计的第二端与第二管路连通，用于采集第一管路与第二管路的压差值；比例调节阀，设于第二管路的第一端，第二管路的第二端与反应室的第二端连通后与抽气系统连通，比例调节阀能够根据压差值调整开度。本实用新型提出的气相沉淀设备可以使得第二管路内流量控制更加稳定，以此提高反应室内材料生长的品质。
本实用新型气相沉淀设备在权利要求书中公布了：1.一种气相沉淀设备，其特征在于，包括： 第一管路； 流量控制器，设于所述第一管路的第一端； 反应室，所述反应室的第一端与所述第一管路的第二端连通； 第二管路，所述第二管路的第一端与所述第一管路的第一端相对，所述第二管路的第二端与所述第一管路的第二端相对； 差压计，所述差压计的第一端与所述第一管路连通，所述差压计的第二端与所述第二管路连通，用于采集所述第一管路与所述第二管路的压差值； 比例调节阀，设于所述第二管路的第一端，所述第二管路的第二端与所述反应室的第二端连通后与抽气系统连通，所述比例调节阀能够根据所述压差值调整开度。
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