眉山博雅新材料股份有限公司王宇获国家专利权
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龙图腾网获悉眉山博雅新材料股份有限公司申请的专利蒸发装置以及气相沉积炉获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223660202U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-12发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423218464.8，技术领域涉及：C23C16/448；该实用新型蒸发装置以及气相沉积炉是由王宇;吴万鹏;顾鹏设计研发完成，并于2024-12-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本蒸发装置以及气相沉积炉在说明书摘要公布了：本说明书实施例提供了一种蒸发装置以及气相沉积炉，该蒸发装置包括：蒸发器，所述蒸发器具有容纳待转化的固态物料的容纳腔；加热组件，设置于蒸发器外，被配置为对蒸发器进行加热，以将固态物料转化为气态物料；输入管道，与容纳腔连通，被配置为向容纳腔输送载气；称重传感器，被配置为检测容纳腔中固态物料转化为气态物料的重量；输出管道，与容纳腔连通，被配置为供载气携带气态物料排出容纳腔。
本实用新型蒸发装置以及气相沉积炉在权利要求书中公布了：1.一种蒸发装置，其特征在于，包括： 蒸发器，所述蒸发器具有容纳待转化的固态物料的容纳腔； 加热组件，设置于所述蒸发器外，被配置为对所述蒸发器进行加热，以将所述固态物料转化为气态物料； 输入管道，与所述容纳腔连通，被配置为向所述容纳腔输送载气； 称重传感器，被配置为检测所述容纳腔中所述固态物料转化为所述气态物料的重量； 输出管道，与所述容纳腔连通，被配置为供所述载气携带所述气态物料排出所述容纳腔。
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