北京北方华创微电子装备有限公司胡启超获国家专利权
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龙图腾网获悉北京北方华创微电子装备有限公司申请的专利腔室的门阀组件及半导体工艺设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223660203U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-12发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423120705.5，技术领域涉及：C23C16/455；该实用新型腔室的门阀组件及半导体工艺设备是由胡启超设计研发完成，并于2024-12-17向国家知识产权局提交的专利申请。
本腔室的门阀组件及半导体工艺设备在说明书摘要公布了：本实用新型提供一种腔室的门阀组件及半导体工艺设备。腔室的门阀组件设置于腔室的传片口，门阀组件包括门框，门框设置有沿门框的厚度方向贯穿门框的传片通道，门框还设置有进气孔、出气孔、进气通道、排气通道和收集腔；其中，进气孔位于传片通道的顶壁上且与传片通道和进气通道连通设置，进气通道用于向进气孔提供气体；出气孔位于传片通道的底壁上且与传片通道和收集腔连通设置，收集腔与排气通道连通，排气通道用于排出收集腔内的气体。本实用新型能够向传片通道提供气体，以吹扫传片通道处的杂质颗粒，避免晶圆表面受到漂浮在传片通道的杂质颗粒污染，进而提高晶圆工艺处理的良品率。
本实用新型腔室的门阀组件及半导体工艺设备在权利要求书中公布了：1.一种腔室的门阀组件，设置于腔室的传片口，其特征在于，所述门阀组件包括门框，所述门框设置有沿所述门框的厚度方向贯穿所述门框的传片通道，所述门框还设置有进气孔、出气孔、进气通道、排气通道和收集腔；其中， 所述进气孔位于所述传片通道的顶壁上且与所述传片通道和所述进气通道连通设置，所述进气通道用于向所述进气孔提供气体； 所述出气孔位于所述传片通道的底壁上且与所述传片通道和所述收集腔连通设置，所述收集腔与所述排气通道连通，所述排气通道用于排出所述收集腔内的气体。
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