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龙图腾网获悉北京北方华创微电子装备有限公司申请的专利基座装置和工艺腔室获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223660206U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-12发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422976314.7，技术领域涉及：C23C16/458；该实用新型基座装置和工艺腔室是由陈波设计研发完成，并于2024-12-03向国家知识产权局提交的专利申请。

本基座装置和工艺腔室在说明书摘要公布了：本实用新型提供一种基座装置和工艺腔室，基座装置包括基座、连接轴、调节座、安装座、多个调节组件和多个弹性件，调节座设置在安装座的定位筒中，调节组件包括调节结构和推力件，推力件设置在调节座的第二调节孔中，调节结构能够沿调节座的第一调节孔运动并推动推力件以使推力件与调节座二者发生相对运动；多个弹性件一一对应地设置在多个调节组件相对于调节座轴线的另一侧，且两端分别抵接调节座和定位筒的内壁；连接轴的顶端与基座本体固定连接，调节座可拆卸地与连接轴的底端固定连接并将连接轴固定在安装座上。在本实用新型中，每一调节组件均与其对侧的弹性件形成二力平衡，在保持调节座位置稳定性的同时，保证了基座调平的操作效率。

本实用新型基座装置和工艺腔室在权利要求书中公布了：1.一种基座装置，其特征在于，包括基座本体、连接轴、调节座、安装座、多个调节组件和多个弹性件； 所述安装座具有定位筒，所述调节座设置在所述定位筒中，所述调节座中形成有多个第一调节孔和多个第二调节孔，多个所述第一调节孔沿所述调节座的轴向延伸，多个所述第二调节孔沿所述调节座的径向延伸，且多个所述第二调节孔的第一端一一对应地与多个所述第一调节孔连通，多个所述第二调节孔的第二端贯通至所述调节座的表面； 所述调节组件包括调节结构和推力件，所述推力件设置在所述第二调节孔中且与所述定位筒的内壁相抵，所述调节结构能够沿所述第一调节孔运动并推动所述推力件以使所述推力件与所述调节座二者发生相对运动； 多个所述弹性件一一对应地设置在多个所述调节组件相对于所述调节座轴线的另一侧，且所述弹性件的两端分别抵接所述调节座和所述定位筒的内壁； 所述连接轴的顶端与所述基座本体固定连接，所述调节座可拆卸地与所述连接轴的底端固定连接并将所述连接轴固定在所述安装座上。

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