中科超芯(浙江)新材料科技有限公司吴国明获国家专利权
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龙图腾网获悉中科超芯(浙江)新材料科技有限公司申请的专利一种纳米级碳化硅薄膜的制备装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223660208U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-12发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520039278.3，技术领域涉及：C23C16/458；该实用新型一种纳米级碳化硅薄膜的制备装置是由吴国明;姚忠冉;林敦设计研发完成，并于2025-01-08向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种纳米级碳化硅薄膜的制备装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种纳米级碳化硅薄膜的制备装置，涉及碳化硅薄膜技术领域，包括制备机构，所述制备机构的内部设置有输气机构，所述制备机构的一侧设置有尾气处理机构，所述尾气处理机构包括燃烧室，所述燃烧室内腔的底部设置有外接天然气与氧气混合气体输气管的燃烧嘴，所述燃烧嘴的顶部设置有电打火器，所述燃烧室的一侧通过管道连通有空气净化器。本实用新型通过尾气处理机构的设置，利用天然气混合氧气作为辅助燃料，借助燃烧反应，将尾气中的硅烷、乙炔等可燃且有害成分转化为二氧化碳、水等无害氧化物，随后再经过空气净化器对燃烧处理后的尾气中的酸碱性气体进行处理，避免直接排放对大气造成污染。
本实用新型一种纳米级碳化硅薄膜的制备装置在权利要求书中公布了：1.一种纳米级碳化硅薄膜的制备装置，包括制备机构，其特征在于：所述制备机构的内部设置有输气机构，所述制备机构的一侧设置有尾气处理机构，所述尾气处理机构包括燃烧室31，所述燃烧室31内腔的底部设置有外接天然气与氧气混合气体输气管的燃烧嘴32，所述燃烧嘴32的顶部设置有电打火器33，所述燃烧室31的一侧通过管道34连通有空气净化器35。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人中科超芯(浙江)新材料科技有限公司，其通讯地址为：314000 浙江省嘉兴市南湖区大桥镇亚太路778号1号楼201-11室；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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