中微半导体设备(广州)有限公司李晓磊获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉中微半导体设备(广州)有限公司申请的专利气体喷淋头组件及等离子体处理装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223660210U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-12发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423187355.4，技术领域涉及：C23C16/50；该实用新型气体喷淋头组件及等离子体处理装置是由李晓磊;张昭;张凯;李浩楠;张富荣设计研发完成，并于2024-12-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本气体喷淋头组件及等离子体处理装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种气体喷淋头组件及等离子体处理装置，气体喷淋头组件设置在等离子体处理装置的反应腔内，包括：背板，位于反应腔内的顶部；气体喷淋头，位于背板的下方；悬挂装置，悬挂装置的第一端连接背板，悬挂装置的第二端连接气体喷淋头；气体喷淋头具有拱形的上表面和下表面，气体喷淋头的上表面的中心区域低于边缘区域，气体喷淋头的下表面的中心区域高于边缘区域且气体喷淋头上表面的中心区域和边缘区域之间的高度差大于气体喷淋头下表面的中心区域和边缘区域之间的高度差；本实用新型的气体喷淋头组件使气体喷淋头的下表面在高温工艺环境下大致与基座的上表面平行，从而保证了气体喷淋头下方的等离子体分布均匀性。
本实用新型气体喷淋头组件及等离子体处理装置在权利要求书中公布了：1.一种气体喷淋头组件，设置在等离子体处理装置的反应腔内，其特征在于，包括： 背板，所述背板位于所述反应腔内的顶部； 气体喷淋头，所述气体喷淋头位于所述背板的下方； 悬挂装置，所述悬挂装置的第一端连接所述背板，所述悬挂装置的第二端连接所述气体喷淋头； 所述气体喷淋头具有拱形的上表面和下表面，所述气体喷淋头的上表面的中心区域低于边缘区域，所述气体喷淋头的下表面的中心区域高于边缘区域；所述气体喷淋头上表面的中心区域和边缘区域之间的高度差大于所述气体喷淋头下表面的中心区域和边缘区域之间的高度差。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人中微半导体设备(广州)有限公司，其通讯地址为：511338 广东省广州市增城区宁西街创新大道20号之二十一101号房；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由龙图腾AI智能生成。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议，有机会获取IP积分或其他奖励