浙江先导微电子科技有限公司吴思诺获国家专利权
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龙图腾网获悉浙江先导微电子科技有限公司申请的专利一种钼台获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223660212U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-12发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202423049267.8,技术领域涉及:C23C16/511;该实用新型一种钼台是由吴思诺;王临喜;蒋以晨;请求不公布姓名;请求不公布姓名设计研发完成,并于2024-12-11向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种钼台在说明书摘要公布了:本实用新型属于金刚石膜制备领域,公开了一种钼台。所述钼台包括底座,底座上表面设置圆形凹槽,所述圆形凹槽的底部设置生长圆柱;所述生长圆柱包括圆柱段和位于圆柱段上部的凸球面,所述圆柱段的高度小于圆形凹槽的深度,所述生长圆柱的高度大于圆形凹槽的深度。本实用新型的钼台结构简单,通过底座、圆形凹槽、生长圆柱的结构限制及进一步的尺寸设定,可减缓振膜的边缘效应,使振膜的厚度均匀。
本实用新型一种钼台在权利要求书中公布了:1.一种钼台,其特征在于,包括底座,底座上表面设置圆形凹槽,所述圆形凹槽的底部设置生长圆柱; 所述生长圆柱包括圆柱段和位于圆柱段上部的凸球面,所述圆柱段的高度小于圆形凹槽的深度,所述生长圆柱的高度大于圆形凹槽的深度。
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