北京北方华创微电子装备有限公司王帅伟获国家专利权
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龙图腾网获悉北京北方华创微电子装备有限公司申请的专利检测装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223660213U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-12发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423060861.7，技术领域涉及：C23C16/52；该实用新型检测装置是由王帅伟设计研发完成，并于2024-12-11向国家知识产权局提交的专利申请。
本检测装置在说明书摘要公布了：本申请公开了一种检测装置，涉及半导体领域。一种检测装置，应用于工艺腔室，工艺腔室包括腔体以及设于腔体内的承载装置和匀流板，匀流板的底端面与承载装置的承载面相对设置，且匀流板的环形侧壁面与底端面之间通过倾斜连接面过渡连接；检测装置包括：安装组件和至少三组测距组件，安装组件用于放置在承载面上，至少三组测距组件设于安装组件；每组测距组件包括第一测距元件和第二测距元件，第一测距元件与底端面相对设置，第二测距元件与倾斜连接面相对设置，第一测距元件和第二测距元件分别用于测量各自至匀流板的距离。本申请至少能够解决当前无法直接测量匀流板与基座之间水平偏差等问题。
本实用新型检测装置在权利要求书中公布了：1.一种检测装置，应用于工艺腔室，所述工艺腔室包括腔体200以及设于腔体200内的承载装置300和匀流板400，所述匀流板400的底端面410与所述承载装置300的承载面310相对设置，且所述匀流板400的环形侧壁面420与所述底端面410之间通过倾斜连接面430过渡连接；其特征在于，所述检测装置100包括：安装组件110和至少三组测距组件120，所述安装组件110用于放置在所述承载面310上，所述至少三组测距组件120设于所述安装组件110； 每组所述测距组件120包括由所述承载装置300的中心沿半径方向依次设置的第一测距元件121和第二测距元件122；其中，所述第一测距元件121与所述匀流板400的所述底端面410相对设置，所述第二测距元件122与所述匀流板400的所述倾斜连接面430相对设置，所述第一测距元件121和所述第二测距元件122分别用于测量各自至所述匀流板400的距离。
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