海南大学三亚研究院刘钟远获国家专利权
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龙图腾网获悉海南大学三亚研究院申请的专利用于碳化硅生长装置的涂层环获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223660288U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-12发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423075614.4，技术领域涉及：C30B25/12；该实用新型用于碳化硅生长装置的涂层环是由刘钟远;余乐俊;吕威设计研发完成，并于2024-12-13向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于碳化硅生长装置的涂层环在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种用于碳化硅生长装置的涂层环，包括：环体，其正面为水平面，环体中部开设有与石墨托盘嵌合的通槽；环体内边缘包括圆弧面和竖直面，环体的竖直面形成与石墨托盘的凸起部平边相接触的定位平边；在靠近环体内边缘的位置处开设有4个盲孔，其中两个盲孔分别靠近环体的两个平边角处，另外两个盲孔均靠近环体的圆弧面处；固定柱，四根固定柱分别嵌入四个盲孔中，四根固定柱边缘与衬底边缘形成两个相切圆结构以将衬底定位在环体的水平面上，由此减少衬底外边缘与环体内边缘之间的接触面。本实用新型可以避免涂层环内边缘在外延生长过程中生长出副产物与衬底边缘粘住和导致涂层环内圆会逐渐缩小，取片碎片现象有明显改善，成本显著降低。
本实用新型用于碳化硅生长装置的涂层环在权利要求书中公布了：1.一种用于碳化硅生长装置的涂层环，其特征在于，包括： 环体，所述环体的正面为水平面，且所述环体中部开设有通槽，所述通槽用于与石墨托盘的凸起部相嵌合，以共同形成适于承载衬底的载具；所述环体内边缘包括圆弧面和竖直面，所述圆弧面两端连接所述竖直面两端，所述环体的竖直面形成与所述石墨托盘的凸起部平边相接触的定位平边；在靠近所述环体内边缘的位置处开设有4个盲孔，其中两个所述盲孔分别靠近所述环体的两个平边角处，另外两个所述盲孔均靠近所述环体的圆弧面处； 固定柱，四根所述固定柱分别嵌入四个所述盲孔中，四根所述固定柱边缘与衬底边缘形成两个相切圆结构以将衬底定位在所述环体的水平面上，由此减少衬底外边缘与所述环体内边缘之间的接触面。
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