深圳市镨芯高精设备有限公司谭锦升获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳市镨芯高精设备有限公司申请的专利基座组件获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223662610U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-12发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520102412.X，技术领域涉及：F16K1/36；该实用新型基座组件是由谭锦升;宋永新;李玉珍;刘冬安设计研发完成，并于2025-01-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本基座组件在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种基座组件，涉及半导体加工设备领域，其中，基座组件包括：流道块，开设流道以及与所述流道连通的加工孔，所述加工孔的内壁包括第一密封部和第二密封部，所述第一密封部的内径大于所述第二密封部的内径；以及密封件，包括本体和设于所述本体轴向方向一侧的密封凸部，所述本体的侧壁与所述第一密封部密封抵接，所述密封凸部与所述第二密封部密封抵接。本实用新型技术方案提出的基座组件能够防高密封效果，避免出现渗漏。
本实用新型基座组件在权利要求书中公布了：1.一种基座组件，其特征在于，包括： 流道块，开设流道以及与所述流道连通的加工孔，所述加工孔的内壁包括第一密封部和第二密封部，所述第一密封部的内径大于所述第二密封部的内径；以及 密封件，包括本体和设于所述本体轴向方向一侧的密封凸部，所述本体的侧壁与所述第一密封部密封抵接，所述密封凸部与所述第二密封部密封抵接。
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