北京北方华创微电子装备有限公司李雪珍获国家专利权
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龙图腾网获悉北京北方华创微电子装备有限公司申请的专利供气压力调整装置及半导体工艺设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223663155U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-12发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423184350.6，技术领域涉及：F17D3/01；该实用新型供气压力调整装置及半导体工艺设备是由李雪珍;陈振伟;杨帅;周厉颖设计研发完成，并于2024-12-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本供气压力调整装置及半导体工艺设备在说明书摘要公布了：本申请实施例提供了一种供气压力调整装置及半导体工艺设备，其中，所述供气压力调整装置包括：螺杆式气体输送器、驱动器和气压检测器；螺杆式气体输送器设有第一进气口和第一出气口，第一进气口用于与气源连接，第一出气口用于与半导体工艺设备的半导体工艺腔室连接；驱动器与螺杆式气体输送器驱动连接，用于驱动螺杆式气体输送器工作，以使得由第一进气口输入的气体经第一出气口排出；气压检测器与第一出气口连接，用于检测第一出气口输出的气体的压力。所述供气压力调整装置能够基于气压检测器检测结果，按照工艺需求调整输送至半导体工艺腔室的气体的压力。
本实用新型供气压力调整装置及半导体工艺设备在权利要求书中公布了：1.一种供气压力调整装置，应用于半导体工艺设备，其特征在于，所述供气压力调整装置包括：螺杆式气体输送器110、驱动器120和气压检测器130； 所述螺杆式气体输送器110设有第一进气口1111和第一出气口1112，所述第一进气口1111用于与气源20连接，所述第一出气口1112用于与所述半导体工艺设备的半导体工艺腔室200连接； 所述驱动器120与所述螺杆式气体输送器110驱动连接，用于驱动所述螺杆式气体输送器110工作，以使得由所述第一进气口1111输入的气体经所述第一出气口1112排出； 所述气压检测器130与所述第一出气口1112连接，用于检测所述第一出气口1112输出的气体的压力。
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