上海高笙集成电路设备有限公司崔汉博获国家专利权
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龙图腾网获悉上海高笙集成电路设备有限公司申请的专利一种电加热式半导体加工尾气处理装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223663335U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-12发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423269156.8，技术领域涉及：F23G7/06；该实用新型一种电加热式半导体加工尾气处理装置是由崔汉博;崔汉宽设计研发完成，并于2024-12-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种电加热式半导体加工尾气处理装置在说明书摘要公布了：本实用新型涉及半导体尾气处理技术领域，尤其是一种电加热式半导体加工尾气处理装置，其包括水箱及设置在水箱上方与之连通的第一管体及第二管体，第一管体包括进气腔、反应管、冷却管，第二管体包括出气管、水气分离管及水洗管，进气腔连通向内输入待处理气体的进气管，进气腔内设置用以加热气体并使其燃烧的加热棒，进气腔与反应管之间连接用以输入助燃空气的环形空气板，水箱及水洗管内设置用以对气体进行水洗的喷淋管。本实用新型将制程气体进行充分燃烧和喷淋水解，使溶于水的物质作为废水排出，处理达标的气体排放至常务中央系统；通过设置补风机构进行二次补风，使燃烧更加充分，同时在加热棒失效时，加大气流量对废气进行稀释。
本实用新型一种电加热式半导体加工尾气处理装置在权利要求书中公布了：1.一种电加热式半导体加工尾气处理装置，其特征在于，包括水箱81及设置在水箱81上方与之连通的第一管体及第二管体，所述第一管体包括由上至下依次设置的进气腔11、反应管2、冷却管，所述第二管体包括由上至下依次设置的出气管、水气分离管6及水洗管71，进气腔11连通向内输入待处理气体的进气管12，进气腔11内设置用以加热气体并使其燃烧的加热棒10，进气腔11与反应管2之间连接用以输入助燃空气的环形空气板13，水箱81及水洗管71内设置用以对气体进行水洗的喷淋管。
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