北京北方华创微电子装备有限公司李学钧获国家专利权
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龙图腾网获悉北京北方华创微电子装备有限公司申请的专利一种换热系统及半导体工艺设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223663820U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-12发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520236470.1，技术领域涉及：F28D21/00；该实用新型一种换热系统及半导体工艺设备是由李学钧设计研发完成，并于2025-02-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种换热系统及半导体工艺设备在说明书摘要公布了：本申请公开了一种换热系统及半导体工艺设备，应用于半导体工艺设备，换热系统包括：换热模块，设置于主设备层用于向工艺腔室的被控温对象通入换热介质；控制模块，设置于辅助设备层，并与所述换热模块连接，用于控制所述换热模块向所述被控温对象通入所述换热介质。本申请的换热系统为分体式换热系统，换热模块与工艺腔室的距离大大减小，可减少控温过程换热介质的热量损失，换热介质进入被控温对象时更接近理想温度，从而可以减少换热介质的温度波动，提高控温的准确性。而且由于将控制模块外移至辅助设备层，只有换热模块设置于主设备层，从而可以增大换热模块的体积，缩短换热时间和提高换热效率。
本实用新型一种换热系统及半导体工艺设备在权利要求书中公布了：1.一种换热系统，应用于半导体工艺设备，其特征在于，包括： 换热模块，设置于主设备层用于向工艺腔室的被控温对象通入换热介质； 控制模块，设置于辅助设备层，并与所述换热模块连接，用于控制所述换热模块向所述被控温对象通入所述换热介质。
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