青岛高测科技股份有限公司卢凯文获国家专利权
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龙图腾网获悉青岛高测科技股份有限公司申请的专利厚度检测机构、检测装置及倒角机获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223663933U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-12发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520174173.9,技术领域涉及:G01B11/06;该实用新型厚度检测机构、检测装置及倒角机是由卢凯文;时立朋;徐公志;李彤;尹德臻;王建成;于学辉设计研发完成,并于2025-01-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本厚度检测机构、检测装置及倒角机在说明书摘要公布了:本申请涉及电子器件制造技术领域,具体提供一种厚度检测机构、检测装置及倒角机,旨在解决现有晶圆厚度检测机构容易对晶圆表面造成损伤的问题。为此目的,本申请的厚度检测机构包括:第一支架;第一悬臂和第二悬臂,其均与第一支架相连,第一悬臂和第二悬臂之间形成有供待加工工件进入的间隙;第一激光传感器,其设置于第一悬臂远离第一支架的端部;第二激光传感器,其设置于第二悬臂远离第一支架的端部,第一激光传感器的检测端和第二激光传感器的检测端均伸进间隙,且第一激光传感器的检测端和第二激光传感器的检测端相对设置。本申请能够实现工件厚度的“非接触”检测,从而避免对工件的表面造成损伤,提升工件的加工质量。
本实用新型厚度检测机构、检测装置及倒角机在权利要求书中公布了:1.一种厚度检测机构,其特征在于,包括: 第一支架11; 第一悬臂12和第二悬臂13,其均与所述第一支架11相连,所述第一悬臂12和所述第二悬臂13之间形成有供待加工工件进入的间隙200; 第一激光传感器14,其设置于所述第一悬臂12远离所述第一支架11的端部; 第二激光传感器15,其设置于所述第二悬臂13远离所述第一支架11的端部,所述第一激光传感器14的检测端和所述第二激光传感器15的检测端均伸进所述间隙200,且所述第一激光传感器14的检测端和所述第二激光传感器15的检测端相对设置。
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