超科半导体科技(南通)有限公司张彪获国家专利权
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龙图腾网获悉超科半导体科技(南通)有限公司申请的专利一种高度差测量工具获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223663971U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-12发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520156507.X，技术领域涉及：G01B21/08；该实用新型一种高度差测量工具是由张彪;吴祺卿设计研发完成，并于2025-01-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种高度差测量工具在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种高度差测量工具，包括测量主体、测量头和红宝石支撑脚；所述测量主体包括矩形主体和三角夹持体，所述矩形主体上三角形分布开设螺纹孔，所述螺纹孔内部螺纹连接红宝石支撑脚，所述三角夹持体的中轴线上开设安装圆孔，所述安装圆孔内部放测量头，所述安装圆孔的侧面开设调节缝，所述调节缝延伸至三角夹持体的外部，所述调节缝上设置调节螺栓进行调节。本实用新型可以测量大多数的高度差，通用性好，可以根据需要，更换不同精度的测量头，使用场景广泛。最高精度可以到1um；采用红宝石支撑脚，不造成金属污染，避免测量主体与晶圆直接接触，避免报废晶圆。
本实用新型一种高度差测量工具在权利要求书中公布了：1.一种高度差测量工具，其特征在于：包括测量主体、测量头和红宝石支撑脚；所述测量主体包括矩形主体和三角夹持体，所述矩形主体上三角形分布开设螺纹孔，所述螺纹孔内部螺纹连接红宝石支撑脚，所述三角夹持体的中轴线上开设安装圆孔，所述安装圆孔内部放测量头，所述安装圆孔的侧面开设调节缝，所述调节缝延伸至三角夹持体的外部，所述调节缝上设置调节螺栓进行调节。
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