广东三姆森科技股份有限公司张庆祥获国家专利权
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龙图腾网获悉广东三姆森科技股份有限公司申请的专利晶圆检测设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223664531U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-12发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422839617.4，技术领域涉及：G01N21/95；该实用新型晶圆检测设备是由张庆祥;陈英滔;谭辉;尚建宇;刘华峰;侯罗海;李依琳;潘冠健设计研发完成，并于2024-11-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆检测设备在说明书摘要公布了：本申请涉及一种晶圆检测设备，属于半导体检测设备技术领域，该晶圆检测设备包括晶圆载台、图像获取模块、图像处理模块、高度传感器、竖向移动机构和横向移动机构，横向移动机构可以带动各个待检测晶圆的检测区域依次移动至图像获取模块的下方，竖向移动机构根据高度传感器调整晶圆载台的高度，以使各个检测区域与图像获取模块的距离保持一致。本申请提供的晶圆检测设备，无需上下调整图像获取模块，即可使得每个检测区域都处于图像获取模块的焦点处，降低对焦难度，而且还可以避免上下调整图像获取模块而可能对成像造成的影响。
本实用新型晶圆检测设备在权利要求书中公布了：1.一种晶圆检测设备，其特征在于，包括： 晶圆载台，用于固定待检测晶圆，所述待检测晶圆上划分有多个检测区域； 图像获取模块，设置于所述晶圆载台的上方，所述图像获取模块用于获取检测图像，以判断所述检测区域的表面是否存在缺陷； 图像处理模块，通信连接于所述图像获取模块，所述图像处理模块根据所述图像获取模块获取的检测图像，判断所述检测区域的表面是否存在缺陷； 高度传感器，设置于所述晶圆载台的上方，所述高度传感器用于检测所述待检测晶圆和所述图像获取模块的距离； 竖向移动机构，所述晶圆载台设置于所述竖向移动机构上，所述竖向移动机构根据所述高度传感器调整所述晶圆载台的高度，以使各个所述检测区域与所述图像获取模块的距离保持一致；以及 横向移动机构，所述竖向移动机构设置于所述横向移动机构上，所述横向移动机构用于带动各个所述检测区域依次移动至所述图像获取模块的下方。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人广东三姆森科技股份有限公司，其通讯地址为：523000 广东省东莞市长安镇上沙中南南路6号12号楼；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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