惠州市格瑞特实业有限公司葛建元获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾,真高效! 查专利查商标用IPTOP,全免费!专利年费监控用IP管家,真方便!
龙图腾网获悉惠州市格瑞特实业有限公司申请的专利一种硅晶片盒自动清洗检测一体装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120767216B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-16发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510723721.3,技术领域涉及:H01L21/67;该发明授权一种硅晶片盒自动清洗检测一体装置是由葛建元设计研发完成,并于2025-05-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种硅晶片盒自动清洗检测一体装置在说明书摘要公布了:本发明提供一种硅晶片盒自动清洗检测一体装置,属于硅晶片生产设备,包括有工作台与清洗篮,清洗篮内设有多组硅晶片盒本体,工作台包括底座和顶台,顶台上设有转运组件,转运组件包括轨道和沿轨道滑动的两组机械臂,机械臂末端均设有夹持清洗篮的抓取机构;工作台划分为预洗区与清洗区,预洗区内设有预洗槽,清洗区内依次设有第一清洗槽与第二清洗槽及复洗槽,工作台两侧分别设有进料槽与出料槽;机械臂与工作台上设有用于通过显色反应与图像分析判定硅晶片盒洁净度的检测组件,检测组件包括有图像采集模块与多组显色剂喷管及多组检测探头。该装置通过设置基于显色反应与图像分析的检测组件,使得使用者能够判定硅晶片盒的洁净度。
本发明授权一种硅晶片盒自动清洗检测一体装置在权利要求书中公布了:1.一种硅晶片盒自动清洗检测一体装置,包括有工作台与清洗篮101,所述清洗篮101内设有多组硅晶片盒本体102,其特征在于:所述工作台包括底座103和顶台104,所述顶台104上设有转运组件,所述转运组件包括轨道105和沿所述轨道105滑动的两组机械臂106,所述机械臂106末端均设有夹持所述清洗篮101的抓取机构107;工作台划分为预洗区与清洗区,预洗区内设有预洗槽108,清洗区内依次设有第一清洗槽109与第二清洗槽111及复洗槽112,所述工作台两侧分别设有进料槽113与出料槽114;所述机械臂106与所述工作台上设有用于通过显色反应与图像分析判定硅晶片盒洁净度的检测组件,所述检测组件包括有图像采集模块115与多组显色剂喷管116及多组检测探头117;所述工作台上设有控制模块118,所述控制模块118分别与所述图像采集模块115及所述检测探头117电连接。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人惠州市格瑞特实业有限公司,其通讯地址为:516000 广东省惠州市仲恺高新区陈江街道南塘路1号(2号厂房第三层);或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由龙图腾AI智能生成。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息,力求客观、公正,但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解,仅供参考使用,不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。

皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议,有机会获取IP积分或其他奖励