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龙图腾网获悉北京华林嘉业科技有限公司申请的专利一种载具支架、半导体基板清洗干燥总成、处理设备及干燥方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120809666B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-16发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511271462.1，技术领域涉及：H01L21/687；该发明授权一种载具支架、半导体基板清洗干燥总成、处理设备及干燥方法是由徐鹏飞;侯丽丽;郭生钢;王强;耿彪设计研发完成，并于2025-09-08向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种载具支架、半导体基板清洗干燥总成、处理设备及干燥方法在说明书摘要公布了：本发明涉及半导体湿法制程设备技术领域，尤其是涉及一种载具支架、半导体基板清洗干燥总成、处理设备及干燥方法。本发明提供的载具支架包括：设置于支撑框内且用于支撑载具的托板和活动设置于托板上的支撑板；支撑板上设置有多个用于支撑载具内的半导体基板的支撑部，支撑部具有接触结构，且接触结构沿载具内的半导体基板的排列方向延伸以使接触结构与载具内的半导体基板点接触或线接触，托板和支撑板配置为在载具支架下降过程中响应于接触干燥容器的底部而触发托板与支撑板之间相对运动将载具内的半导体基板托起。将支撑板活动设置在托板上，二者集成为一体式，安装调整较为方便。

本发明授权一种载具支架、半导体基板清洗干燥总成、处理设备及干燥方法在权利要求书中公布了：1.一种载具支架，用于半导体基板清洗干燥总成，所述半导体基板清洗干燥总成包括干燥容器2和用于将载具9升降至所述干燥容器2内的提升机构8，所述提升机构8包括支撑框815，其特征在于，所述载具支架6包括：设置于所述支撑框815内且用于支撑所述载具9的托板61和活动设置于所述托板61上的支撑板62； 所述支撑板62上设置有多个用于支撑所述载具9内的半导体基板91的支撑部621和多个用于支撑所述支撑板62的支柱622，所述支撑部621具有接触结构，且所述接触结构沿所述载具9内的半导体基板91的排列方向延伸以使所述接触结构与所述载具9内的半导体基板91点接触或线接触； 所述托板61和所述支撑板62配置为在所述载具支架6下降过程中响应于接触所述干燥容器2的底部而触发所述托板61与所述支撑板62之间相对运动将所述载具9内的半导体基板91托起； 所述支柱622穿设于所述托板61，且能够与所述干燥容器2的底部相抵以使所述支撑板62与所述托板61相对运动将所述载具9内的所述半导体基板91托起； 所述托板61上连接有多个用于支撑所述载具9的支撑元件611，且所述支撑元件611使所述载具9形成倾斜姿态； 所述托板61与所述支撑板62之间相对运动后，所述支撑板62能够使所述载具9内的半导体基板91形成倾斜姿态。

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