中国计量大学李佳君获国家专利权
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龙图腾网获悉中国计量大学申请的专利具有金刚石片阵列的晶圆、模具及制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120834083B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-16发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202511317395.2,技术领域涉及:H01L23/29;该发明授权具有金刚石片阵列的晶圆、模具及制备方法是由李佳君;齐晖;刘航宇;田宇;周飞飞;董莹;陈宏伟;王新庆设计研发完成,并于2025-09-16向国家知识产权局提交的专利申请。
本具有金刚石片阵列的晶圆、模具及制备方法在说明书摘要公布了:本申请公开了一种具有金刚石片阵列的晶圆、模具及制备方法,晶圆包括包覆有若干的金刚石片第一填充层和第二填充层,第一填充层硬度小、弹性大。模具包括下模具,外模具,第一上模具和第二上模具。第一上模具、外模具的及下模具之间形成第一填充空间;第二上模具、外模具及下模具之间形成第二填充空间。方法是使用上述模具制备具有金刚石片阵列的晶圆,晶圆使用上述模具和方法制备。通过设置第一填充层和第二填充层将若干金刚石片单体形成具有金刚石片阵列的晶圆,可以使多个金刚石片单体形成晶圆结构,以便光刻、注入、刻蚀等加工流程单次可以对多个金刚石片进行批量加工处理,且能兼容常规半导体加工设备,增强设备利用率以及降低生产成本。
本发明授权具有金刚石片阵列的晶圆、模具及制备方法在权利要求书中公布了:1.一种具有金刚石片阵列的晶圆,其特征在于,包括: 第一填充层,所述第一填充层包覆有若干间隔设置的金刚石片,各金刚石片的表面与第一填充层的第一表面相平齐,或者第一填充层的第一表面高于各金刚石片的表面; 第二填充层,所述第二填充层设置在所述第一填充层不具有金刚石片的第二表面,所述第一填充层的硬度小于所述第二填充层的硬度,且所述第一填充层的弹性大于所述第二填充层的弹性。
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