买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉北京清研智束科技有限公司申请的专利一种真空视窗结构及真空处理设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120844026B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-16发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511358417.X，技术领域涉及：C23C14/32；该发明授权一种真空视窗结构及真空处理设备是由陈立国;柏久阳;李改华;赵德陈;高彦峰;张剑斌设计研发完成，并于2025-09-23向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种真空视窗结构及真空处理设备在说明书摘要公布了：本发明涉及真空处理技术领域，具体公开了一种真空视窗结构及真空处理设备。该真空视窗结构包括真空腔室、视窗组件、防护通道、低温捕集组件和供气组件；真空腔室开设有视察窗口；视窗组件设于真空腔室；防护通道设于真空腔室；低温捕集组件的抽气口连通于防护通道远离视察窗口的一侧；供气组件包括供气控制组件、供气管路和等离子体发生器，供气控制组件设于真空腔室的室外，供气管路的一端连通于供气控制组件，供气管路的另一端连通于防护通道靠近视察窗口的一侧，等离子体发生器设于供气管路。本发明的真空视窗结构能够避免材料蒸汽沉积于视窗组件，并确保能够实时监测真空处理区域。

本发明授权一种真空视窗结构及真空处理设备在权利要求书中公布了：1.一种真空视窗结构，其特征在于，包括： 真空腔室1，所述真空腔室1开设有视察窗口11； 视窗组件2，所述视窗组件2设于所述真空腔室1，覆盖于所述视察窗口11在所述真空腔室1室外的一侧； 防护通道3，所述防护通道3设于所述真空腔室1，连通于所述视察窗口11在所述真空腔室1室内的一侧； 低温捕集组件4，所述低温捕集组件4的抽气口连通于所述防护通道3远离所述视察窗口11的一侧，用于低温吸取所述防护通道3内的材料蒸汽； 供气组件5，所述供气组件5包括供气控制组件51、供气管路52和等离子体发生器53，所述供气控制组件51设于所述真空腔室1的室外，所述供气管路52的一端连通于所述供气控制组件51，所述供气管路52的另一端连通于所述防护通道3靠近所述视察窗口11的一侧，所述等离子体发生器53设于所述供气管路52；所述供气控制组件51用于通过所述供气管路52在所述防护通道3内吹入工艺气体以形成气流保护层，所述等离子体发生器53用于电离所述供气管路52内的部分所述工艺气体。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人北京清研智束科技有限公司，其通讯地址为：100176 北京市大兴区北京经济技术开发区科创六街100号1幢3层306室；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。