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龙图腾网获悉华芯程(杭州)科技有限公司;华芯程(上海)工业软件有限公司申请的专利一种曲线OPC验证方法、装置、设备及存储介质获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120848127B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-16发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511349911.X，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权一种曲线OPC验证方法、装置、设备及存储介质是由熊万能设计研发完成，并于2025-09-22向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种曲线OPC验证方法、装置、设备及存储介质在说明书摘要公布了：本发明涉及计算光刻技术领域，特别是涉及一种曲线OPC验证方法、装置、设备及存储介质，通过接收目标曲线图形及待查模拟曲线图形；确定所述目标曲线图形上的目标曲线段；确定所述目标曲线段上的采样点，并获取各个所述采样点沿对应的切线的法线方向到待查模拟曲线图形的偏差距离，及各个所述采样点对应的曲率；根据各个所述采样点的偏差距离与曲率，确定所述待查模拟曲线图形在所述目标曲线段上的曲线EPE；当所述曲线EPE超过所述EPE阈值时，将所述待查模拟曲线图形确定为待修正模拟曲线图形。本发明对各个曲率不同的采样点依据对应的曲率赋予不同权重，从而大大提升了曲线OPC验证的准确率，显著降低了计算过程中的算力消耗。

本发明授权一种曲线OPC验证方法、装置、设备及存储介质在权利要求书中公布了：1.一种曲线OPC验证方法，其特征在于，包括： 接收目标曲线图形及待查模拟曲线图形； 确定所述目标曲线图形上的目标曲线段； 确定所述目标曲线段上的采样点，并获取各个所述采样点沿对应的切线的法线方向到待查模拟曲线图形的偏差距离，及各个所述采样点对应的曲率； 根据各个所述采样点的偏差距离与曲率，确定所述待查模拟曲线图形在所述目标曲线段上的曲线EPE； 将所述曲线EPE与预设的EPE阈值进行对比，判断所述曲线EPE是否超过所述EPE阈值； 当所述曲线EPE超过所述EPE阈值时，将所述待查模拟曲线图形确定为待修正模拟曲线图形； 根据各个所述采样点的偏差距离与曲率，确定所述待查模拟曲线图形在所述目标曲线段上的曲线EPE，包括： 根据所述曲率确定对应的采样点的EPE权重；所述EPE权重与所述曲率正相关； 计算所述目标曲线段上全部的采样点对应的EPE权重与偏差距离的乘积的和，作为所述待查模拟曲线图形在所述目标曲线段上的曲线EPE； 或，根据各个所述采样点的偏差距离与曲率，确定所述待查模拟曲线图形在所述目标曲线段上的曲线EPE，包括： 通过下式计算所述待查模拟曲线图形在所述目标曲线段上的曲线EPE： ； 其中，CW-EPE为所述曲线EPE；L为所述目标曲线段的长度；ks为在所述目标曲线段上，与所述目标曲线段的起点距离为s处的采样点的曲率；EPEs为在所述目标曲线段上，与所述目标曲线段的起点距离为s处的采样点的偏差距离。

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