东北大学何天一获国家专利权
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龙图腾网获悉东北大学申请的专利一种多通道进气结构的动态气体隔离装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120861535B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-16发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511405227.9，技术领域涉及：B08B17/00；该发明授权一种多通道进气结构的动态气体隔离装置是由何天一;张志军设计研发完成，并于2025-09-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种多通道进气结构的动态气体隔离装置在说明书摘要公布了：一种多通道进气结构的动态气体隔离装置，属于气体隔离技术领域，包括投影光学盒、连接管道、晶圆腔室、半拉瓦尔型喷管及清洁气体进气口；投影光学盒位于晶圆腔室正上方，投影光学盒的内部空腔通过连接管道与晶圆腔室密封连通；半拉瓦尔型喷管一端与连接管道密封连通，另一端用于通入清洁气体；若干清洁气体进气口均设置在晶圆腔室顶部且位于内部的晶圆上方。本发明采用半拉瓦尔型进气道形式与晶圆上方多进气口相结合的多通道进气结构，提升清洁气体的导流性与屏障形成的稳定性，抑制污染物在关键区域中的扩散；可根据不同应用场景灵活调整清洁气体进气口位置和流量分配，提升系统适配性和清洁气体利用效率，满足对污染物控制的技术需求。
本发明授权一种多通道进气结构的动态气体隔离装置在权利要求书中公布了：1.一种多通道进气结构的动态气体隔离装置，其特征在于：包括投影光学盒、连接管道、晶圆腔室、半拉瓦尔型喷管及清洁气体进气口；所述投影光学盒位于晶圆腔室正上方，投影光学盒的内部空腔通过连接管道与晶圆腔室密封连通；所述半拉瓦尔型喷管水平设置，半拉瓦尔型喷管的一端与连接管道密封连通，半拉瓦尔型喷管的另一端用于通入清洁气体；所述清洁气体进气口数量若干，若干清洁气体进气口均设置在晶圆腔室顶部且位于内部的晶圆上方；所述半拉瓦尔型喷管的拉瓦尔型面侧的管壁朝下；所述半拉瓦尔型喷管和清洁气体进气口均采用模块化可拆卸更换式结构；若干所述清洁气体进气口沿圆周方向均匀分布；全部所述清洁气体进气口的喷口中轴线均倾斜设置且喷口均朝向晶圆的圆周侧；每个所述清洁气体进气口均独立配置有流量调节机构。
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