清软微视(杭州)科技有限公司陈仕江获国家专利权
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龙图腾网获悉清软微视(杭州)科技有限公司申请的专利一种晶圆定位方法及装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120878620B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-16发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511393642.7，技术领域涉及：H01L21/68；该发明授权一种晶圆定位方法及装置是由陈仕江;周继乐;陈凯;叶纯;陈荣前设计研发完成，并于2025-09-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆定位方法及装置在说明书摘要公布了：本公开涉及一种晶圆定位方法及装置。能够基于低倍率镜头获取标准晶圆的全局图像，并基于高倍率镜头获取全局图像中多个目标区域的模板图像，以联合低倍率镜头和高倍率镜头保障模板图像兼具视野范围和定位精度；其次通过高倍率镜头获取校正晶圆上各目标区域的目标图像，并确定各模板图像在相应目标图像中的初始中心位置，来进行晶圆粗定位以实现减小搜索范围和适应误差的目的；接着通过确定各模板图像在相应搜索区域中的目标中心位置，来进行晶圆精定位以实现图像角度偏移问题，进而提升复杂姿态下的匹配鲁棒性；以及基于目标仿射变换矩阵来确定校正晶圆的偏移参数，不仅实现微米级精度的晶圆定位，还可为晶圆的后续工艺操作带来保障。
本发明授权一种晶圆定位方法及装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆定位方法，其特征在于，包括： 基于低倍率镜头获取标准晶圆的全局图像，并基于高倍率镜头获取所述全局图像中至少四个目标区域所对应的模板图像，各所述模板图像具有相应的标准中心位置； 基于所述高倍率镜头获取校正晶圆上与各所述目标区域对应的目标图像，并确定各所述模板图像在相应所述目标图像中的初始中心位置； 基于各所述模板图像的尺寸参数和相应所述初始中心位置，在相应所述目标图像中确定搜索区域，并确定各所述模板图像在相应所述搜索区域中的目标中心位置；以及 基于所有所述模板图像所对应的所述标准中心位置和所述目标中心位置，确定目标仿射变换矩阵，并基于所述目标仿射变换矩阵确定所述校正晶圆的偏移参数。
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