合肥晶合集成电路股份有限公司席昕睿获国家专利权
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龙图腾网获悉合肥晶合集成电路股份有限公司申请的专利掩模板的版本标记的图案生成方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120891696B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-16发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202511415658.3,技术领域涉及:G03F1/38;该发明授权掩模板的版本标记的图案生成方法是由席昕睿;孟瑶瑶;程亚云设计研发完成,并于2025-09-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本掩模板的版本标记的图案生成方法在说明书摘要公布了:本公开提供了一种掩模板的版本标记的图案生成方法,包括:获取版本标记区域的宽度,并根据制程种类与掩模板的图层数获得版本标记区域的总长度;在相应图层的版本标记区域中分别形成一个或多个相应尺寸的矩形框;在预设图层中的版本标记区域的相应位置形成产品代码图案;以及分别在不同图层中将该图层的图层编码图案与版本信息图案形成在版本标记区域的相应位置,其中,矩形框、产品代码图案、图层编码图案以及版本信息图案用于构成掩模板的版本标记。该图案生成方法可以兼容多种需求,并提升版本标记图案的绘制准确率和效率。
本发明授权掩模板的版本标记的图案生成方法在权利要求书中公布了:1.一种掩模板的版本标记的图案生成方法,包括: 获取版本标记区域的宽度,并根据制程种类与掩模板的图层数获得所述版本标记区域的总长度; 在相应图层的版本标记区域中分别形成一个或多个相应尺寸的矩形框; 在预设图层中的所述版本标记区域的相应位置形成产品代码图案;以及 分别在不同图层中将该图层的图层编码图案与版本信息图案形成在所述版本标记区域的相应位置, 其中,所述矩形框、所述产品代码图案、所述图层编码图案以及所述版本信息图案用于构成掩模板的版本标记, 所述根据制程种类与掩模板的图层数获得版本标记区域的总长度包括:获取第一参数、第二参数和第三参数,所述第一参数为掩模板的图层数加1,所述第二参数为各图层中所述矩形框的短边最大值,所述第三参数为预设的固定值, 在所述制程种类为90纳米工艺节点制程的情况下,所述版本标记区域的总长度为第一参数、第二参数的乘积与第三参数之和, 在所述制程种类为非90纳米工艺节点制程的情况下,所述版本标记区域的总长度为第一参数与第二参数的乘积, 所述分别在不同图层中将该图层的图层编码图案与版本信息图案形成在所述版本标记区域的相应位置包括:将相同属性的图层中的图层编码图案与所述版本信息图案形成在所述版本标记区域的相同位置。
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