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龙图腾网获悉星奇(上海)半导体有限公司申请的专利一种应用于半导体工艺制程的流体控制装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120906964B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-16发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511441595.9，技术领域涉及：F16K1/22；该发明授权一种应用于半导体工艺制程的流体控制装置是由请求不公布姓名设计研发完成，并于2025-10-10向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种应用于半导体工艺制程的流体控制装置在说明书摘要公布了：本说明书实施例提供一种应用于半导体工艺制程的流体控制装置，包括阀体、阀杆和执行器，阀杆一端伸入到阀体内部以用于安装阀板，阀杆另一端穿过阀体与执行器相连接，以通过阀杆带动阀板旋转，阀杆包括主体部和驱动部，主体部的第一端伸入到阀体内部，且第二端延伸到阀体外部，主体部的第二端通过连接件和驱动部的第一端相连接，以使得主体部和驱动部同步旋转，驱动部的第二端与执行器相连接。将阀杆分为伸入到阀体内部的主体部和设置在阀体外部的驱动部，可分别加工主体部和驱动部，降低加工难度，同时驱动部可采用成本较低的材料制作，降低成本。

本发明授权一种应用于半导体工艺制程的流体控制装置在权利要求书中公布了：1.一种应用于半导体工艺制程的流体控制装置，包括阀体、阀杆和执行器，所述阀杆一端伸入到所述阀体内部以用于安装阀板，所述阀杆另一端穿过阀体与所述执行器相连接，以通过所述阀杆带动阀板旋转，其特征在于， 所述阀杆包括主体部和驱动部，所述主体部的第一端伸入到所述阀体内部，且第二端延伸到所述阀体外部，所述主体部的第二端通过连接件和所述驱动部的第一端相连接，以使得所述主体部和所述驱动部同步旋转，所述驱动部的第二端与所述执行器相连接； 所述连接件包括朝向靠近所述主体部的方向延伸设置的第一连接部和朝向靠近所述驱动部的方向延伸设置的第二连接部，所述第一连接部和所述第二连接部的正投影呈相互垂直设置； 所述第二连接部包括楔形块，所述驱动部靠近所述第二连接部的一侧端面上开设有与所述楔形块相配合的嵌槽，所述楔形块至少部分嵌入所述嵌槽内，且嵌入部分与所述嵌槽内壁相贴合； 所述第一连接部包括凸块，所述主体部靠近所述第一连接部的一侧端面上开设有与所述凸块相配合的凹槽，所述凸块至少部分嵌入所述凹槽内； 所述第一连接部的中部区域向内凹陷设有容纳槽，所述容纳槽内设置有弹性件，所述弹性件始终推顶所述连接件使其有朝向所述驱动部运动的趋势，以保证所述楔形块始终嵌入所述嵌槽内。

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