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龙图腾网获悉星奇(上海)半导体有限公司申请的专利一种半导体工艺用流体控制装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120906965B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-16发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511441597.8，技术领域涉及：F16K1/226；该发明授权一种半导体工艺用流体控制装置是由请求不公布姓名设计研发完成，并于2025-10-10向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种半导体工艺用流体控制装置在说明书摘要公布了：本说明书实施例提供一种半导体工艺用流体控制装置，包括阀体和阀杆，所述阀杆的第一端伸入到所述阀体内部以用于安装阀板，所述阀杆用于带动阀板转动以对流经的介质进行流量控制，所述装置还包括限位组件，所述限位组件分别向所述阀杆插入所述阀体内部的一端和所述阀杆穿出所述阀体的区域施加的相对向的第一作用力和第二作用力，以使所述阀杆与所述阀板之间保持轴向中心对正状态。通过设置限位组件，限位组件分别对阀杆伸入阀体内的端部和阀杆处于阀体外部部分施加的相对向的第一作用力和第二作用力，在第一作用力和第二作用力的作用下，可以实现对阀杆的轴向预紧，保证阀杆与阀板之间保持轴向中心对正状态。

本发明授权一种半导体工艺用流体控制装置在权利要求书中公布了：1.一种半导体工艺用流体控制装置，包括阀体和阀杆，所述阀杆的第一端伸入到所述阀体内部以用于安装阀板，所述阀杆用于带动阀板转动以对流经的介质进行流量控制，其特征在于， 所述装置还包括限位组件，所述限位组件分别向所述阀杆插入所述阀体内部的一端和所述阀杆穿出所述阀体的区域施加相对向的第一作用力和第二作用力，以使所述阀杆与所述阀板之间保持轴向中心对正状态； 所述第一作用力为由所述阀杆对应的端部沿所述阀杆的长度方向施加的弹性作用力；和或，所述第二作用力为对所述阀杆施加的沿其长度并朝向所述阀体内部延伸的方向上的抵推力； 所述限位组件包括用于施加所述第一作用力的第一限位部和用于施加所述第二作用力的第二限位部，所述第一限位部包括压设于所述阀杆的端部与所述阀体之间的弹性件，所述第二限位部包括连接于所述阀杆穿出所述阀体的区域的第一限位凸台以及由所述第一限位凸台上方抵压所述第一限位凸台的限位件； 所述第一限位部还包括垫体和支承件，所述支承件的相对两侧分别与所述弹性件和垫体相抵接，所述垫体与所述阀杆的第一端相抵接，所述支承件靠近所述垫体的一侧形成有光滑圆弧接触面； 所述阀杆包括主体部和驱动部，所述驱动部和所述主体部相连接的端面上分别形成有第一连接槽和第二连接槽，且两个连接槽沿轴向呈十字形设置，所述主体部通过连接件和所述驱动部相连接，所述连接件包括与所述第一连接槽相匹配的第一连接部和与所述第二连接槽相匹配的第二连接部，所述第一连接部和所述第二连接部的正投影呈相互垂直设置，所述第一连接部与所述第一连接槽之间保持契合连接，所述第二连接部与所述第二连接槽之间保持精密配合连接。

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