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龙图腾网获悉苏州芯海半导体科技有限公司申请的专利基于机器视觉的半导体表面字符质量检测系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120913225B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-16发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511440333.0，技术领域涉及：G06V30/19；该发明授权基于机器视觉的半导体表面字符质量检测系统是由徐海洋;杨超设计研发完成，并于2025-10-10向国家知识产权局提交的专利申请。

本基于机器视觉的半导体表面字符质量检测系统在说明书摘要公布了：本发明涉及半导体材料表面特性检测技术领域，公开一种基于机器视觉的半导体表面字符质量检测系统，包括：图像采集单元与处理器，处理器运行前置校验模块，通过计算图像的频谱熵值以校验输入图像的信息保真度；随后，在图像通过校验后，运行稳定性评价模块，该模块提取字符的笔画骨架以生成拓扑一致的多个局部像素区域，并计算各区域内作为材料微观状态不均匀性表征的局部信息熵值，再将其与预设阈值比对以生成异常判定信号，本发明将质量评估的物理基础从已形成的静态形态，转移至对制造过程稳定性的溯源，使得对工艺漂移等潜在风险的判断，不再依赖于断线或变形等缺陷的出现。

本发明授权基于机器视觉的半导体表面字符质量检测系统在权利要求书中公布了：1.一种基于机器视觉的半导体表面字符质量检测系统，其特征在于，系统包括： 一个图像采集单元； 一个与图像采集单元连接的处理器，处理器被配置为：首先，运行一个前置校验模块，用于对由图像采集单元获取的包含目标字符的图像进行傅里叶变换以获得其频谱图，并计算频谱图的频谱熵值，仅当频谱熵值满足预设的有效性条件时，才触发后续处理，以建立关于输入图像自身信息保真度的校验机制；随后，运行一个稳定性评价模块，该模块被配置为在图像通过校验后，提取目标字符的笔画骨架以生成与字符拓扑结构一致的多个局部像素区域，并在每一局部像素区域内，基于像素强度值的统计分布计算一个作为材料微观状态不均匀性表征的局部信息熵值，进而将全部局部信息熵值与预设的工艺稳定阈值集合进行比对，并当任局部信息熵值偏离工艺稳定阈值集合时，生成异常判定信号，由此构成一个以笔画骨架为几何约束前提，以局部熵值为物理状态诊断依据，并通过阈值比对形成闭环校验的运行规则；以及，系统还包括一个与图像采集单元同步控制的相干光源，处理器还被配置为运行一个动态特性分析模块，用于在完成稳定性评价模块的处理后，驱动相干光源照射目标字符，并控制图像采集单元高速采集一系列表征其表面激光散斑场的时序图像，动态特性分析模块通过计算时序图像序列中后续帧与初始帧的差分图像的信息熵，来量化目标字符表面材料的弛豫动力学特性，并生成第二异常判定信号。

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