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龙图腾网获悉南通瑞昇动力科技有限公司申请的专利一种多功能晶圆搬运机械手臂获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120914160B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-16发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511445891.6，技术领域涉及：H01L21/687；该发明授权一种多功能晶圆搬运机械手臂是由陈海需设计研发完成，并于2025-10-11向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种多功能晶圆搬运机械手臂在说明书摘要公布了：本发明涉及晶圆搬运技术领域，特别是一种多功能晶圆搬运机械手臂，包括：底座、升降臂、第一旋转臂、第二旋转臂、第三旋转臂和夹爪机构；所述底座顶部滑动安装有升降臂，所述升降臂顶部转动安装有第一旋转臂，所述第一旋转臂顶部转动安装有第二旋转臂，所述第二旋转臂顶部转动安装有第三旋转臂，所述第三旋转臂前端转动安装有夹爪机构；本发明解决了现有的晶圆在搬运的过程中，晶圆放置在下一个工位后，晶圆都会产生一定的偏心，需要再次对晶圆进行重新定位，降低了晶圆的加工效率，实现了晶圆在搬运放置在下一个工位后，晶圆不会产生偏心误差，无需再次对晶圆进行定位，提高了晶圆的加工效率。

本发明授权一种多功能晶圆搬运机械手臂在权利要求书中公布了：1.一种多功能晶圆搬运机械手臂，其特征在于，包括：底座1、升降臂2、第一旋转臂3、第二旋转臂4、第三旋转臂5和夹爪机构6； 所述底座1顶部滑动安装有升降臂2，所述升降臂2顶部转动安装有第一旋转臂3，所述第一旋转臂3顶部转动安装有第二旋转臂4，所述第二旋转臂4顶部转动安装有第三旋转臂5，所述第三旋转臂5前端转动安装有夹爪机构6； 通过所述夹爪机构6将晶圆进行翻转，并对晶圆进行检测定心； 所述夹爪机构6包括箱体61、旋转盘62、定心模块63、驱动模块64、转动筒65、第一齿盘66、第二齿盘67、连接块68和气管69； 所述箱体61顶部中心位置转动安装有旋转盘62，所述箱体61上以旋转盘62为中心环形布置有多个定心模块63，所述箱体61内部固定安装有驱动模块64，所述转动筒65转动安装在旋转盘62上，所述转动筒65上固定安装有第一齿盘66，所述转动筒65上转动安装有第二齿盘67，所述第二齿盘67远离第一齿盘66的一侧通过多个固定销681分别与多个连接块68一端铰接；所述转动筒65远离旋转盘62的一端转动安装有气管69，所述气管69与气泵固定连接； 所述旋转盘62顶部以轴线为中心环形阵列设置有多个吸盘623，所述旋转盘62底部设置有圆柱箱621，且所述圆柱箱621与第一齿盘66固定连接，所述圆柱箱621顶部以轴线为中心环形阵列开设有多个气孔622，且多个所述气孔622分别与多个所述吸盘623连通，所述圆柱箱621与所述转动筒65固定连接，且所述圆柱箱621与所述转动筒65连通； 所述定心模块63包括固定柱631、圆筒632、滑动块633、拉动杆634、压缩弹簧635、连接杆636、距离传感器638和压力传感器639；多个所述固定柱631分别固定安装在箱体61上，多个所述固定柱631上分别滑动安装有圆筒632，多个所述圆筒632任意一端上分别固定安装有滑动块633，多个所述滑动块633上分别固定安装有拉动杆634，且多个所述拉动杆634分别位于多个圆筒632内部，多个所述圆筒632内部分别固定安装有压缩弹簧635，且多个所述压缩弹簧635分别位于多个所述拉动杆634外侧，多个所述拉动杆634自由端上分别固定安装有连接杆636，多个所述连接杆636的自由端分别与多个所述连接块68远离固定销681的一端铰接，多个所述滑动块633靠近圆筒632的一侧上分别设置有距离传感器638和压力传感器639，且多个所述距离传感器638分别位于多个所述压力传感器639上方。

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