启东新微智造科技有限公司鲍博获国家专利权
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龙图腾网获悉启东新微智造科技有限公司申请的专利一种干法刻蚀机用芯片连续提取装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120933210B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-16发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202511465505.X,技术领域涉及:H01L21/67;该发明授权一种干法刻蚀机用芯片连续提取装置是由鲍博;吕淑琴;任利军设计研发完成,并于2025-10-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种干法刻蚀机用芯片连续提取装置在说明书摘要公布了:本发明涉及芯片提取技术领域,尤其涉及一种干法刻蚀机用芯片连续提取装置,包括底座和横板,所述横板固定连接在所述底座上,所述横板上固定连接有凸块,所述凸块上滑动连接有安装座,所述安装座上转动连接有转轴,所述转轴远离所述安装座的一端固定连接有凸轮,所述凸轮上固定连接有托板,所述托板上安装有提取部件,所述提取部件包括挤压板、气囊、限位杆、膨胀袋,本发明中利用膨胀袋代替托板对芯片进行托起,并使得芯片处于限位槽中间位置,并不与安装座接触,随即液压杆伸长并将安装座推动至复位,此时托板以及膨胀袋将芯片脱出并远离放置箱,实现对芯片快速提取的效果,也避免在芯片提取过程中与放置箱产生摩擦而造成损坏。
本发明授权一种干法刻蚀机用芯片连续提取装置在权利要求书中公布了:1.一种干法刻蚀机用芯片连续提取装置,包括底座1和横板5,其特征在于,所述横板5固定连接在所述底座1上; 所述横板5上固定连接有凸块3,所述凸块3上滑动连接有安装座24,所述安装座24上转动连接有转轴21,所述转轴21远离所述安装座24的一端固定连接有凸轮12,所述凸轮12上固定连接有托板11,所述托板11上安装有提取部件,所述提取部件包括挤压板16、气囊15、限位杆18、膨胀袋10,所述托板11上开设有凹槽,所述膨胀袋10固定连接在所述凹槽内,两个所述限位杆18均固定连接在所述托板11上,挤压板16滑动连接在两个所述限位杆18上,所述气囊15固定连接在所述托板11与所述挤压板16之间,所述气囊15与所述膨胀袋10之间固定连通有直管26,所述托板11与所述挤压板16之间固定连接有弹簧17; 所述底座1上固定连接有放置箱14,所述放置箱14两端分别开设有限位槽,所述底座1上固定连接有连通管2,所述连通管2其中一端滑动连接有支撑板25,所述支撑板25远离所述连通管2的一端与所述放置箱14固定连接; 所述提取部件还包括梯形板13,多个所述梯形板13分别固定连接在所述放置箱14两端内壁上。
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