买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉航菱微(泰州)科技有限公司申请的专利一种附带缺陷和数量检测功能的晶圆清洗设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120961549B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-16发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511493395.8，技术领域涉及：B08B11/00；该发明授权一种附带缺陷和数量检测功能的晶圆清洗设备是由何平;沈建宇;魏岩岩设计研发完成，并于2025-10-20向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种附带缺陷和数量检测功能的晶圆清洗设备在说明书摘要公布了：本发明公开了一种附带缺陷和数量检测功能的晶圆清洗设备，涉及晶圆清洗技术领域，包括安装架、防反溅单元、进给单元、水压调节单元、支撑单元与检测单元，其中安装架用于安装固定防反溅单元、进给单元、水压调节单元与支撑单元，防反溅单元用于避免清洗液回流至晶圆表面，进给单元用于刷毛的磨损自动补偿进给，水压调节单元用于调节波动的水压保证清洗压力恒定，支撑单元晶圆的支撑转动，检测单元用于清洗后晶圆表面缺陷与数量的检测，在晶圆放置在支撑单元后，水压调节单元保证清洗压力恒定，进给单元保证清洗毛刷磨损自动补偿，通过防反溅单元避免清洗后的液滴回弹至晶圆表面造成二次污染，通过检测单元检测清洗后晶圆的缺陷与数量检测。

本发明授权一种附带缺陷和数量检测功能的晶圆清洗设备在权利要求书中公布了：1.一种附带缺陷和数量检测功能的晶圆清洗设备，其特征在于：所述一种附带缺陷和数量检测功能的晶圆清洗设备，包括安装架1、防反溅单元2、进给单元3、水压调节单元4、支撑单元5与检测单元6，所述安装架1放置在水平地面上，所述防反溅单元2与安装架1固定连接，所述防反溅单元2具有避免晶圆二次污染的功能，所述进给单元3与安装架1固定连接，所述水压调节单元4与安装架1固定连接，所述支撑单元5与安装架1固定连接，所述检测单元6与安装架1固定连接； 所述进给单元3包括旋转电机31、转杆32、滚筒33、电磁铁34、磁块35与直筒36，所述旋转电机31固定端固定安装在安装架1上，所述旋转电机31输出端与转杆32一端固定连接，所述转杆32另一端与安装架1转动连接，所述滚筒33固定安装在转杆32上，所述电磁铁34固定安装在转杆32上，所述磁块35固定安装在直筒36靠近电磁铁34一端外表面，所述直筒36设置在滚筒33内； 所述进给单元3还包括支撑板37、感应线圈38、条形磁铁39、缓冲弹簧310与刷毛组件311，所述支撑板37固定安装在直筒36内，所述感应线圈38设置在直筒36内，所述条形磁铁39一端与刷毛组件311固定连接，所述缓冲弹簧310一端与刷毛组件311固定连接，所述缓冲弹簧310另一端与支撑板37固定连接，所述条形磁铁39与支撑板37滑动连接，所述刷毛组件311与滚筒33滑动连接。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人航菱微(泰州)科技有限公司，其通讯地址为：225500 江苏省泰州市姜堰区三水街道俞田路68号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。